产品概述
VACOM Vacuum Measurement Technology 真空测量技术组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空测量技术组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空测量技术组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空测量技术组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Vacuum Measurement Technology 真空测量技术组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 多种测量原理：集成热传导、电离、电容薄膜等多种真空测量原理
- 宽覆盖范围：从粗真空到极高真空的全面测量能力
- 高精度：采用精密校准技术，确保测量数据的准确性
- 智能控制：集成微处理器，支持自动量程切换和故障诊断
- 多种输出：模拟信号、数字通讯、现场显示等多种输出方式
- 系统集成：提供完整的真空测量系统配套方案
可选型号
| 产品类型 | 测量原理 | 量程范围 | 典型精度 | 接口 |
|---|---|---|---|---|
| Pirani 规 | 热传导 | 1×10⁻⁴ ~ 1×10³ mbar | ±15% | KF |
| BA 电离规 | 电离 | 1×10⁻¹⁰ ~ 1×10⁻² mbar | ±10% | CF |
| 电容薄膜规 | 电容薄膜 | 1×10⁻⁴ ~ 1×10³ mbar | ±0.2% | KF/CF |
| 冷阴极规 | 冷电离 | 1×10⁻⁹ ~ 1×10⁻² mbar | ±15% | CF |
| 复合规 | 组合式 | 5×10⁻¹⁰ ~ 1×10³ mbar | ±10% | CF/KF |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量范围 | 5×10⁻¹⁰ ~ 1×10³ mbar |
| 测量精度 | ±0.2% ~ ±15%（取决于原理） |
| 响应时间 | < 50 ms（电容薄膜）/ < 200 ms（热传导） |
| 工作温度 | 0°C ~ +50°C（控制器） |
| 通讯接口 | 模拟 0~10 V / RS-232 / RS-485 / Profibus |
| 兼容规管 | NOVION / VACOM 全系列真空规 |
| 显示方式 | LCD / LED / 远程 |
| 电源要求 | AC 100~240 V 或 DC 24 V |
典型应用
- 半导体制造：工艺腔体的高精度真空度控制与监测
- 真空镀膜：镀膜过程的真空度精确控制和记录
- 科学研究：超高真空系统的综合真空测量方案
- 分析仪器：精密分析仪器的真空度测量系统
- 工业自动化：全自动真空生产线的测量与控制集成
- 粒子加速器：大科学装置的多点真空监测系统
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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