真空观察窗 工艺监控

德国 VACOM 真空观察窗是专为 CVD 和溅射镀膜和刻蚀工艺腔体内部监控设计的高透光率和耐等离子体冲击的真空窗口组件。

产品数据表

品牌 VACOM
国家 德国
产品类型 真空组件
主要功能 CF法兰和KF快装连接
典型用途 超高真空系统搭建

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