产品概述
VACOM Ion Getter Pump Controllers 离子泵控制器 是德国 VACOM 公司推出的高品质离子泵控制器产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。离子泵控制器作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的离子泵控制器选型、技术支持和采购服务。
VACOM Ion Getter Pump Controllers 离子泵控制器 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 智能控制：微处理器控制自动调节输出高压和工作电流
- 多泵管理：可同时驱动 1~4 台离子泵，支持独立控制和分组控制
- 安全保护：过流、过压、短路、过温多重保护功能
- 远程监控：标配 RS-232/485，可选 Ethernet 和 Profibus
- 数据记录：内置数据记录功能，可存储运行参数历史数据
- 适配广泛：兼容 VACOM 全系列离子吸气泵产品
可选型号
| 型号 | 通道数 | 输出电压 | 最大电流 | 通讯接口 |
|---|---|---|---|---|
| IGPC-1 | 1 | 3~7 kV | 50 mA | RS-232 |
| IGPC-2 | 2 | 3~7 kV | 100 mA | RS-232/485 |
| IGPC-4 | 4 | 3~7 kV | 200 mA | RS-485 |
| IGPC-PRO | 4 | 3~10 kV | 300 mA | Ethernet/Profibus |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 输入电源 | AC 100~240 V, 50/60 Hz |
| 输出电压 | 3~10 kV，自动调整 |
| 输出功率 | 50~500 W |
| 控制方式 | 自动 / 手动 / 远程 |
| 保护功能 | 过流、过压、短路、过温、真空连锁 |
| 显示方式 | LCD 屏幕，实时显示电压/电流/压力 |
| 通讯接口 | RS-232 / RS-485 / Ethernet / Profibus |
| 工作环境 | 0°C ~ +40°C，最大 80% RH |
典型应用
- 半导体制造：离子泵系统的集中电源管理和控制
- 科学研究：超高真空系统的自动泵组控制
- 粒子加速器：多台离子泵的集群控制和远程管理
- 分析仪器：电子显微镜和质谱仪泵组控制
- 量子技术：量子计算系统的真空泵组自动管理
- 工业自动化：全自动真空系统的集成控制
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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