产品概述
VACOM Sub-D-Feedthrough 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空馈通组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。Sub-D 真空馈通件作为真空系统中多路信号传输的关键元件，采用标准 Sub-D 接口设计，可同时传输多路电信号和数据信号，广泛应用于复杂的真空系统信号互联场景。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的 Sub-D 真空馈通件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Sub-D-Feedthrough 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该产品在密封性能与信号传输可靠性方面达到业界领先水平。
产品特点
- 多路信号传输：采用标准 Sub-D 连接器接口，支持 9 针、15 针、25 针等多种引脚配置。
- 优异密封性能：精密玻璃金属烧结封装，出厂氦质谱检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s。
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢外壳及高纯玻璃绝缘，耐腐蚀且绝缘性能优异。
- 广泛兼容：兼容 ISO-KF、ISO-K、CF、QCF 等主流法兰标准，无缝对接各类真空设备。
- 热稳定性：支持最高 450°C 烘烤，温度循环下保持可靠密封与电性能。
- 抗干扰设计：可选屏蔽型 Sub-D 连接器，有效抑制电磁干扰，确保信号完整性。
可选型号
| 型号 | 引脚数 | 法兰规格 | 极限真空 | 烘烤温度 |
|---|---|---|---|---|
| SUB-D-FT-DN16-9P | 9 针 | DN16 CF/KF | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 300°C |
| SUB-D-FT-DN16-15P | 15 针 | DN16 CF/KF | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 300°C |
| SUB-D-FT-DN25-25P | 25 针 | DN25 CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 300°C |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 额定电压 | ≤ 300 VAC/DC |
| 额定电流 | ≤ 5 A/针 |
| 外壳材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 绝缘材料 | 玻璃烧结 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
典型应用
- 半导体制造：Sub-D 真空馈通用于刻蚀和沉积设备的多路传感器信号和电源传输。
- 真空镀膜：在镀膜机台中传输多路工艺信号，满足复杂镀膜工艺的控制需求。
- 科学研究：用于表面分析系统、分子束外延等设备的多路信号真空馈入。
- 分析仪器：配套电子显微镜、质谱仪等设备，实现多路电信号和数据信号的真空传输。
- 自动控制系统：分布式真空系统的传感器信号采集和执行器控制信号传输。
- 工业自动化：在真空自动化生产线中实现多路控制信号和反馈信号的可靠传输。
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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