产品概述
VACOM Tee 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空连接组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空连接组件作为真空系统中的关键部件，其性能直接影响整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，提供全面的选型、技术支持和采购服务。
VACOM Tee 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平。
产品特点
- 卓越密封性能：精密加工确保极低泄漏率，出厂氦质谱检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s。
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢、无氧铜及高纯陶瓷，耐腐蚀且机械强度高。
- 广泛兼容：兼容 ISO-KF、ISO-K、CF、QCF 等主流法兰标准，无缝对接各类设备。
- 热稳定性：支持最高 450°C 烘烤，温度循环下保持可靠密封性能。
- 模块化设计：标准化模块组合，简化系统设计与安装，降低维护成本。
- 可追溯质量：每件产品含独立序列号，可查询完整生产检测数据。
可选型号
| 型号 | 通径 | 法兰 | 极限真空 | 烘烤温度 |
|---|---|---|---|---|
| Tee-DN16 | DN16 | KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar | – |
| Tee-DN25 | DN25 | KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar | – |
| Tee-DN40 | DN40 | KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar | – |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：真空连接组件用于 PVD、CVD、刻蚀等前道工艺，为芯片制造提供稳定真空环境。
- 真空镀膜：在光学、功能薄膜及装饰镀膜设备中配置真空连接组件，保障工艺质量。
- 科学研究：满足表面物理、材料科学、量子技术等领域对真空连接组件的高标准需求。
- 粒子加速器：用于同步辐射光源等大型装置的真空构建，支持极高真空应用。
- 分析仪器：配套电子显微镜、质谱仪等精密仪器，确保分析结果准确性。
- 工业设备：服务于真空炉、真空干燥等工业真空连接组件配套，兼顾性能与经济性。
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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