产品概述
VACOM Thermocouple-Feedthrough 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空馈通组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。热电偶真空馈通件作为真空系统中温度测量信号传输的关键元件，其性能直接影响温度监测的准确性和系统可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的热电偶真空馈通件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Thermocouple-Feedthrough 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该产品在密封性能与信号传输精度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 精准信号传输：采用专用热电偶补偿导线，确保温度信号精确传输，测温误差极小。
- 多类型兼容：支持 K 型、T 型、J 型、S 型等多种热电偶类型，适配不同测温需求。
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢外壳及高纯陶瓷绝缘，耐腐蚀且绝缘性能优异。
- 广泛兼容：兼容 ISO-KF、ISO-K、CF、QCF 等主流法兰标准，无缝对接各类真空设备。
- 热稳定性：支持最高 450°C 烘烤，温度循环下保持可靠密封与信号传输性能。
- 可追溯质量：每件产品含独立序列号，可查询完整生产检测数据。
可选型号
| 型号 | 热电偶类型 | 法兰规格 | 极限真空 | 烘烤温度 |
|---|---|---|---|---|
| TC-FT-DN16-K | K 型 | DN16 KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 300°C |
| TC-FT-DN16-T | T 型 | DN16 KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 300°C |
| TC-FT-DN25-K | K 型 | DN25 KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 300°C |
| TC-FT-DN40-S | S 型 | DN40 CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 450°C |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 绝缘电阻 | ≥ 100 MΩ（500V DC） |
| 外壳材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 绝缘材料 | 高纯 Al₂O₃ 陶瓷 / 玻璃烧结 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：热电偶真空馈通用于 PVD、CVD、刻蚀设备的温度监测系统，保障工艺精确控温。
- 真空镀膜：在光学镀膜和功能薄膜设备中传输温度信号，实现镀膜过程的精密温度控制。
- 科学研究：满足表面物理、材料分析、低温物理等领域对温度测量信号传输的高要求。
- 粒子加速器：用于真空系统的温度监测和安全保护，确保加速器稳定运行。
- 分析仪器：配套电子显微镜、质谱仪等精密仪器，确保温度监测的准确性和可靠性。
- 工业真空设备：服务于真空炉、真空干燥设备等工业温度测量场景。
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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