产品概述
VACOM Vacuum-Chamber 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空腔体产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空腔体作为真空系统中的核心容器，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空腔体选型、技术支持和采购服务。
VACOM Vacuum-Chamber 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密焊接与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。每个真空腔体均经过氦质谱检漏测试，确保出厂零泄漏。
产品特点
- 卓越密封性能：采用精密焊接工艺，出厂氦质谱检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s，确保超高真空环境。
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢，内壁电抛光处理，低放气率，适用于 UHV 和 XHV 系统。
- 灵活定制：支持圆柱形、方形、球形等多种腔体几何结构，可按照客户要求定制接口和开孔位置。
- 广泛兼容：兼容 ISO-KF、ISO-K、CF、QCF 等主流法兰标准，无缝对接各类真空泵和测量设备。
- 热稳定性：支持最高 450°C 烘烤除气，温度循环下保持可靠密封性能。
- 可追溯质量：每件真空腔体含独立序列号及完整生产检测数据报告。
可选型号
| 型号 | 类型 | 内径 | 接口配置 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| VC-CYL-DN100 | 圆柱形 | DN100 | KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| VC-CYL-DN160 | 圆柱形 | DN160 | ISO-K/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| VC-CYL-DN200 | 圆柱形 | DN200 | ISO-K/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| VC-CUBE-DN200 | 方形 | DN200 | 多接口可定制 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| VC-CUST | 定制型 | 按需设计 | 全接口定制 | 按设计要求 |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar（UHV） |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / 酸洗钝化 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体、反应气体 |
典型应用
- 半导体制造：真空腔体用于 PVD、CVD、刻蚀等前道工艺，为芯片制造提供稳定的真空工艺环境。
- 真空镀膜：在光学薄膜、功能涂层及装饰镀膜设备中作为主真空腔体，保障沉积质量。
- 科学研究：满足表面物理、材料分析、量子技术等前沿研究对超高真空实验环境的需求。
- 粒子加速器：用作束流管线真空腔体或实验站真空容器，支持同步辐射和高能物理研究。
- 分析仪器：配套电子显微镜、质谱仪、光谱仪等精密分析设备，确保分析结果的精确性。
- 工业真空处理：服务于真空炉、真空干燥、真空浸渍等工业设备，兼顾性能与经济性。
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
相关资料
- VACOM 产品目录大全 — 浏览全系列产品
- 关于元锤 — 了解公司团队
- 联系我们 — 获取报价与技术支援
- 真空腔体选型指南 — 快速选型
- 真空系统设计参考资料 — 技术资料汇总