产品概述
VACOM ISO-F-Flange 真空法兰组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空法兰组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空法兰组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空法兰组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM ISO-F-Flange 真空法兰组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 螺栓紧固：ISO-F 法兰采用螺栓紧固设计，密封可靠，适用于高要求场景
- 大通径范围：提供 DN63 至 DN500 全系列规格，适配大口径系统
- 可靠密封：O 型圈轴向密封结构，检漏低于 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s
- 标准兼容：完全符合 ISO 1609 国际真空法兰标准
- 优质材料：采用 304L 不锈钢制造，刚性优异
- 配套齐全：提供配套螺栓、密封圈和中心定位件一站式供应
可选型号
| 型号 | 通径 | 外径 | 螺栓孔数 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| ISO-F-DN63 | DN63 | 110 mm | 4 | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| ISO-F-DN100 | DN100 | 145 mm | 8 | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| ISO-F-DN160 | DN160 | 200 mm | 8 | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| ISO-F-DN200 | DN200 | 260 mm | 12 | ≤ 10⁻⁹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻⁹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s |
| 温度范围 | -20°C ~ +200°C (FKM) |
| 烘烤温度 | 最高 150°C |
| 主体材料 | 不锈钢 304L |
| 密封材料 | FKM / EPDM / 硅橡胶 |
| 表面处理 | 电抛光 / 酸洗钝化 |
| 适用口径 | DN63 ~ DN500 |
典型应用
- 半导体制造：ISO-F 法兰用于高要求的真空系统连接
- 真空镀膜：大型镀膜机的主腔体法兰连接和泵组接口
- 工业真空：真空炉、真空浸渍设备的大口径法兰连接
- 科学研究：高真空实验装置的刚性法兰连接
- 空间模拟：大体积真空罐的密封法兰接口
- 低温系统：低温真空多层绝缘容器的法兰连接
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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