产品概述
VACOM IGP-Controller 真空测量与控制设备 是德国 VACOM 公司推出的高品质离子泵控制器产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。离子泵控制器作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的离子泵控制器选型、技术支持和采购服务。
VACOM IGP-Controller 真空测量与控制设备 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 智能控制：微处理器控制，自动调节输出电压和电流至最佳工作状态
- 宽适配范围：兼容 VACOM 全系列离子吸气泵，适配 20~500 L/s 泵型
- 多泵协同：支持单台控制器同时驱动多台离子泵（最多 4 台）
- 安全保护：过流、过压、短路等多重保护机制，确保系统安全
- 远程监控：标配 RS-232/RS-485 接口，可选 Ethernet 和 Profibus 通讯
- 状态显示：LCD 显示屏实时显示电压、电流、压力等运行参数
可选型号
| 型号 | 通道数 | 输出电压 | 最大电流 | 通讯接口 |
|---|---|---|---|---|
| IGP-C-1 | 1 | 3~7 kV | 50 mA | RS-232 |
| IGP-C-2 | 2 | 3~7 kV | 100 mA | RS-232/485 |
| IGP-C-4 | 4 | 3~7 kV | 200 mA | RS-485/Ethernet |
| IGP-C-PRO | 4 | 3~10 kV | 300 mA | PROFIBUS/Ethernet |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 输入电源 | AC 100~240 V, 50/60 Hz |
| 输出电压 | 3~7 kV，自动调整 |
| 输出功率 | 50~500 W（视通道数） |
| 控制模式 | 自动 / 手动 |
| 保护功能 | 过流、过压、短路、过温 |
| 显示方式 | LCD / LED 矩阵 |
| 通讯接口 | RS-232 / RS-485 / Ethernet |
| 工作环境 | 0°C ~ +40°C，最大 80% RH |
典型应用
- 半导体制造：为离子泵提供精确电源控制，保障超高真空系统稳定运行
- 科学研究：配套超高真空系统的离子泵电源控制单元
- 粒子加速器：加速器真空系统离子泵群的集中控制
- 分析仪器：电子显微镜和质谱仪离子泵的电源与控制
- 量子技术：量子计算实验系统的超高真空维持控制
- 工业自动化：全自动真空系统的远程监控和集成控制
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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