产品概述
VACOM Clamp-Centering-Ring 真空连接组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空连接组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空连接组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空连接组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Clamp-Centering-Ring 真空连接组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 精密定心：对中环精确定心，确保法兰连接的同轴度和密封可靠性
- 快速安装：卡箍与对中环组合可快速完成法兰对接，无需特殊工具
- 优质材料：采用 304L 不锈钢对中环和 FKM/EPDM 密封圈
- 广泛兼容：适用于 ISO-KF 快装法兰系统全系列规格
- 密封可靠：O 型圈径向密封结构，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 多种规格：提供 DN10 至 DN50 全系列 KF 对中环和卡箍
可选型号
| 型号 | 适用通径 | 密封圈材料 | 极限真空 | 烘烤温度 |
|---|---|---|---|---|
| CR-DN10 | DN10 | FKM | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 200°C |
| CR-DN16 | DN16 | FKM | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 200°C |
| CR-DN25 | DN25 | FKM | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 200°C |
| CR-DN40 | DN40 | FKM | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 200°C |
| CR-DN50 | DN50 | FKM | ≤ 10⁻¹¹ mbar | 200°C |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -20°C ~ +200°C |
| 烘烤温度 | 最高 150°C（FKM）/ 200°C（金属密封） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 铝合金（卡箍） |
| 对中环材料 | 不锈钢 304L / 镀锌钢 |
| 密封材料 | FKM / EPDM / 硅橡胶 |
| 适用口径 | DN10 ~ DN50 |
典型应用
- 半导体制造：KF 卡箍和对中环用于真空设备快速连接点的密封
- 真空镀膜：镀膜设备各类接口的标准装配方式
- 科学研究：实验室真空管路的快速组装与拆卸
- 分析仪器：质谱仪和电子显微镜真空接口的标准连接
- 工业设备：真空炉和干燥设备的快速接口密封
- 教学实验：真空技术实验系统的标准装配组件
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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