产品概述
VACOM CASSINI-CVS-4-1A00-3012 真空测量与控制设备 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空测量与控制设备产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空测量与控制设备作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空测量与控制设备选型、技术支持和采购服务。
VACOM CASSINI-CVS-4-1A00-3012 真空测量与控制设备 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高精度电容薄膜测量：采用电容薄膜测量原理，精度高、响应快
- 宽压力范围：量程覆盖 1×10⁻³ 至 100 mbar
- 长期稳定性：零点漂移低 < 0.005% FS/年
- 耐腐蚀设计：Inconel 膜片和哈氏合金主体，耐腐蚀性气体
- 温度补偿：宽温区补偿，确保 0°C 至 50°C 范围内精度稳定
- 模块化设计：输出信号和接口可按用户需求灵活配置
可选型号
| 型号 | 量程 | 精度 | 法兰 | 输出信号 |
|---|---|---|---|---|
| CVS-4-1A00-3012 | 1×10⁻³ ~ 10 mbar | ±0.2% FS | DN40 CF | 0~10 V |
| CVS-4-1B00-3012 | 1×10⁻² ~ 100 mbar | ±0.2% FS | DN40 CF | 0~10 V |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量范围 | 1×10⁻³ ~ 100 mbar |
| 测量精度 | ±0.2% 满量程 |
| 零点漂移 | < 0.005% FS/年 |
| 响应时间 | < 30 ms |
| 膜片材料 | Inconel |
| 法兰接口 | DN40 CF |
| 输出信号 | 0~10 V DC |
| 工作温度 | 0°C ~ +50°C |
典型应用
- 半导体制造：用于 PVD 和 CVD 工艺腔体的精确真空度控制
- 真空镀膜：光学镀膜和功能薄膜沉积的真空度测量
- 科学研究：超高真空系统的二次测量标准
- 分析仪器：精密分析仪器的真空度监测
- 工艺控制：批量生产中的真空度自动控制
- 工业应用：真空炉和热处理设备的真空度检测
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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