产品概述
VACOM CASSINI-CVS-4-1A10-3012 真空测量与控制设备 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空测量与控制设备产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空测量与控制设备作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空测量与控制设备选型、技术支持和采购服务。
VACOM CASSINI-CVS-4-1A10-3012 真空测量与控制设备 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高精度测量：电容薄膜真空计，测量精度达满量程的 0.2%
- 宽量程范围：测量范围 1×10⁻⁴ 至 1×10³ mbar，覆盖粗真空至高真空
- 耐腐蚀设计：采用 Inconel 耐腐蚀合金膜片，适用于腐蚀性气体环境
- 温度补偿：内置温度补偿系统，确保不同环境温度下的测量精度
- 模拟输出：标配 0-10 V 模拟信号输出，可选 RS-232/485 数字通讯
- 紧凑设计：结构紧凑，易于集成到各类真空系统中
可选型号
| 型号 | 量程 | 精度 | 法兰 | 输出信号 |
|---|---|---|---|---|
| CVS-4-1A10-3012 | 1×10⁻⁴ ~ 10 mbar | ±0.2% FS | DN40 CF | 0~10 V |
| CVS-4-BA10-3012 | 1×10⁻⁴ ~ 100 mbar | ±0.2% FS | DN40 CF | 0~10 V |
| CVS-4-BC10-3012 | 1×10⁻³ ~ 1000 mbar | ±0.2% FS | DN40 CF | 0~10 V |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量范围 | 1×10⁻⁴ ~ 1×10³ mbar（取决于型号） |
| 测量精度 | ±0.2% 满量程 |
| 分辨率 | 0.001% FS |
| 温度补偿 | 内置，0°C ~ +50°C |
| 膜片材料 | Inconel 合金 |
| 法兰接口 | DN40 CF / KF |
| 输出信号 | 0~10 V DC / RS-232 / RS-485 |
| 工作温度 | 0°C ~ +50°C |
典型应用
- 半导体制造：CASSINI 真空计用于刻蚀和沉积工艺的真空度精确测量
- 真空镀膜：镀膜过程的真空度精密控制与监测
- 科学研究：超高真空实验系统的精确压力测量
- 化学工艺：腐蚀性气体环境的真空度测量
- 分析仪器：配套质谱仪和表面分析仪器的真空测量
- 工业控制：自动化真空生产线的压力监测与控制
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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