产品概述
VACOM 真空连接与密封组件 1 真空系统组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空系统组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空系统组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空系统组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM 真空连接与密封组件 1 真空系统组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 完整的组件生态：提供从法兰、管件到密封件的一站式真空组件供应
- 标准兼容：涵盖 KF、CF、ISO-K、ISO-F 四大真空法兰标准体系
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢制造，确保长期使用可靠性
- 精密加工：CNC 精密加工，确保尺寸精度和密封面平整度
- 真空清洁：出厂前经过脱脂清洗和氦质谱检漏测试
- 广泛适用：从粗真空到超高真空的全谱段真空系统使用
可选型号
| 组件类别 | 标准体系 | 材质 | 表面处理 | 清洁等级 |
|---|---|---|---|---|
| 法兰/盲板 | KF/CF/ISO-K/F | 304L/316L SS | 电抛光 | Class 3 |
| 管件（直通/弯头/三通） | KF/CF/ISO-K | 304L SS | 电抛光 | Class 3 |
| 密封件 | KF/CF | FKM/无氧铜 | 标准 | Class 2-3 |
| 紧固件（卡箍/螺栓） | KF/CF | 304L SS/铝 | 钝化 | Class 2 |
| 波纹管组件 | KF/CF | 316L/AM350 | 电抛光 | Class 3 |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：完整配套真空组件用于晶圆制造设备
- 真空镀膜：从腔体到泵组管的完整组件解决方案
- 科学研究：一站式采购真空系统建设的所有连接组件
- 工业真空：大型真空工业设备的标准化组件配套
- 分析仪器：高性能分析仪的真空系统组件供应
- 设备改造：真空系统的组件升级和扩展更换
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
相关资料
- VACOM 产品目录大全 — 浏览全系列产品
- 关于元锤 — 了解公司团队
- 联系我们 — 获取报价与技术支援
- 真空组件选型指南 — 快速选型
- 真空设计参考资料 — 技术资料汇总