产品概述
VACOM 真空连接与密封组件 2 真空系统组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空系统组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空系统组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空系统组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM 真空连接与密封组件 2 真空系统组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高品质密封：采用 FKM 和金属密封等多种密封方式，确保真空密封可靠
- 标准化接口：全系列标准化法兰接口，兼容国际真空标准
- 安装便捷：快装设计和螺栓紧固方式灵活可选
- 多种材料：提供不锈钢、铝合金材料选择
- 广泛通径：覆盖 KF DN10-DN50、CF DN16-DN250、ISO DN63-DN500
- 低放气率：真空级材料表面处理，放气率符合真空标准
可选型号
| 组件类型 | 接口标准 | 通径范围 | 材料 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| 法兰盲板 | KF/CF/ISO | DN10-DN500 | 304L SS | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 密封垫圈 | KF/CF | 全部规格 | FKM/无氧铜 | ≤ 10⁻¹² mbar |
| 中心定位件 | KF | DN10-DN50 | SS/MS | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 卡箍 | KF | DN10-DN50 | SS/Alu | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 螺栓组 | CF | DN16-DN250 | SS 304L | ≤ 10⁻¹² mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：真空连接组件用于半导体设备的标准接口密封
- 真空镀膜：镀膜设备各模块之间的可靠密封连接
- 科学研究：真空实验系统的标准连接和密封组件
- 工业真空：大型真空系统的密封连接配件
- 设备维护：真空系统的密封件更换和维修
- 超高真空：CF 金属密封组件的 UHV 应用
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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