产品概述
VACOM 真空腔体与法兰组件 3 真空系统组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空系统组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空系统组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空系统组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM 真空腔体与法兰组件 3 真空系统组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 模块化设计：标准化的真空腔体和法兰模块，便于系统构建
- 高品质材料：采用 304L 不锈钢制造，满足真空应用要求
- 多种接口：腔体预留多个接口，支持多种法兰标准
- 真空密封：所有接合面均经过精密加工，确保密封可靠
- 灵活配置：可根据需求配置不同尺寸和接口数量的腔体
- 可扩展性：支持模块化扩展，方便后续系统升级
可选型号
| 型号 | 腔体尺寸 | 接口数 | 法兰标准 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| CH-DN100-CF-4P | 100 mm 球形 | 4 | CF | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CH-DN160-ISO-6P | 160 mm 球形 | 6 | ISO-K | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| CH-DN200-CF-6P | 200 mm 球殻 | 6 | CF | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CH-DN250-KF-4P | 250 mm 管状 | 4 | KF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：标准腔体用于真空镀膜和刻蚀设备的工艺腔体
- 科学研究：实验真空系统的核心腔体组件
- 真空镀膜：小型镀膜实验设备的真空腔体
- 分析仪器：质谱仪和表面分析仪器的样品腔体
- 工业真空：真空测试设备的密封腔体
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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