产品概述
VACOM 真空腔体与法兰组件 4 真空系统组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空系统组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空系统组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空系统组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM 真空腔体与法兰组件 4 真空系统组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 精密加工：高精度 CNC 加工，尺寸公差控制在 ±0.1 mm 以内
- 多种材料：提供不锈钢 304L、316L、铝合金等多种材料
- 灵活定制：支持非标尺寸、异型腔体和特殊接口定制
- 真空检测：全部腔体出厂前经过氦质谱检漏测试
- 表面处理：提供电抛光、阳极氧化、钝化等多种表面处理选项
- 系统方案：可提供从腔体设计到组件配套的完整方案
可选型号
| 定制类型 | 材料 | 可加工尺寸 | 接口标准 | 检测标准 |
|---|---|---|---|---|
| 标准腔体 | 304L/316L SS | 最大 Ø500 mm | KF/CF/ISO | 氦检 ≤ 10⁻¹² |
| 异形腔体 | 304L SS | 按图纸 | KF/CF/ISO | 氦检 ≤ 10⁻¹² |
| 法兰组件 | 304L/316L SS | DN10-DN500 | KF/CF/ISO | 氦检 ≤ 10⁻¹² |
| 真空管道 | 304L/316L SS | DN10-DN250 | KF/CF/ISO | 氦检 ≤ 10⁻¹² |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：定制真空腔体用于特殊工艺设备的开发
- 科学研究：特殊实验需求的定制真空腔体
- 真空镀膜：非标镀膜工艺的定制腔体
- 分析仪器：专用分析设备的定制真空室
- 工业设备：工业级真空腔体的定制加工
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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