产品概述
VACOM 真空腔体与法兰组件 5 真空系统组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空系统组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空系统组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空系统组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM 真空腔体与法兰组件 5 真空系统组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢制造，耐腐蚀寿命长
- 全系列法兰：提供 KF、CF、ISO-K 等多种法兰接口标准
- 高密封性：精密加工密封面，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 真空清洁：Purity Class 3 真空清洁标准出厂
- 多种规格：提供 DN16 至 DN250 全系列规格
- 定制服务：可按客户图纸定制非标腔体和法兰组件
可选型号
| 产品类型 | 规格范围 | 法兰标准 | 材料 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| 快装法兰组件 | DN16 ~ DN50 | KF | 304L SS | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 超高真空法兰 | DN16 ~ DN250 | CF | 316L SS | ≤ 10⁻¹² mbar |
| 工业法兰组件 | DN63 ~ DN500 | ISO-K/F | 304L SS | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| 非标定制腔体 | 按客户要求 | KF/CF/ISO | 304L/316L | 按设计 |
| 法兰配件 | 全部规格 | KF/CF/ISO | SS/Alu | 按类型 |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：腔体和法兰组件用于半导体设备真空腔体的构建
- 真空镀膜：镀膜机腔体和法兰接口的配套组件
- 科学研究：实验真空腔体的法兰接口定制
- 工业真空：大型真空系统的腔体法兰配套
- 分析仪器：精密分析仪器真空腔体的组件配套
- 设备升级：真空系统的法兰改造和扩展
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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