产品概述
VACOM Bellows-Connectors 波纹管连接组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质波纹管连接组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。波纹管连接组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的波纹管连接组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Bellows-Connectors 波纹管连接组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 柔性补偿：波纹管结构可补偿管路热膨胀和安装偏差，减少应力
- 高寿命：采用成型或边焊波纹管工艺，循环寿命超过 10 万次
- 超高真空：全金属结构适用于 UHV 环境，放气率极低
- 多种材料：提供不锈钢 304L、316L、AM350 和 Hastelloy 材料
- 多种规格：提供 DN10 至 DN250 全系列通径规格
- 可选法兰：可配置 KF、CF、ISO-K 等多种法兰接口
可选型号
| 型号 | 通径 | 波纹管类型 | 长度 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| BC-DN16-EF | DN16 | 成型波纹管 | 50-200 mm | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| BC-DN25-EF | DN25 | 成型波纹管 | 50-300 mm | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| BC-DN40-EW | DN40 | 边焊波纹管 | 50-200 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| BC-DN63-EW | DN63 | 边焊波纹管 | 80-300 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| BC-DN100-EW | DN100 | 边焊波纹管 | 100-500 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar（取决于类型） |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 循环寿命 | > 100,000 次（成型）/ > 1,000,000 次（边焊） |
| 温度范围 | -269°C ~ +450°C |
| 波纹管材料 | 304L / 316L / AM350 / Hastelloy |
| 法兰材料 | 304L / 316L 不锈钢 |
| 表面处理 | 电抛光 / 酸洗钝化 |
| 接口类型 | KF / CF / ISO-K |
典型应用
- 半导体制造：波纹管连接用于真空机械手和阀门的运动补偿
- 真空镀膜：镀膜设备管路的振动隔离和热补偿连接
- 科学研究：超高真空系统的柔性连接元件
- 粒子加速器：束流管线的振动隔离和位置补偿
- 分析仪器：精密分析仪器的真空管路柔性连接
- 低温系统：低温真空管线的热应力补偿连接
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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