产品概述
VACOM Vacuum Gauges 真空规管 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空规管产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空规管作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空规管选型、技术支持和采购服务。
VACOM Vacuum Gauges 真空规管 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 多种测量原理：提供 Pirani、BA 电离、冷阴极、电容薄膜等多种真空规管
- 超宽量程：覆盖 5×10⁻¹⁰ 至 1×10³ mbar 全真空范围
- 高精度：电容薄膜规精度达 ±0.2% 满量程
- 快速响应：毫秒级响应速度，实时反映真空系统状态变化
- 多种输出：模拟电压、数字通讯等多种输出接口可选
- 即插即用：标准法兰接口，安装简单立即投入使用
可选型号
| 规管类型 | 测量原理 | 量程 | 精度 | 法兰 |
|---|---|---|---|---|
| Pirani 规 | 热传导 | 1×10⁻⁴ ~ 1×10³ mbar | ±15% | DN16 KF |
| BA 电离规 | 电离 | 5×10⁻¹⁰ ~ 1×10⁻² mbar | ±10% | DN35 CF |
| 冷阴极规 | 冷电离 | 1×10⁻⁹ ~ 1×10⁻² mbar | ±15% | DN40 CF/KF |
| 电容薄膜规 | 电容薄膜 | 1×10⁻⁴ ~ 1×10³ mbar | ±0.2% | DN40 CF |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量范围 | 5×10⁻¹⁰ ~ 1×10³ mbar |
| 测量精度 | ±0.2% ~ ±15%（取决于类型） |
| 响应时间 | < 50 ms（薄膜）/ < 200 ms（Pirani） |
| 灯丝材料 | 铱 / 钨（电离规） |
| 工作温度 | 0°C ~ +50°C |
| 法兰接口 | KF / CF |
| 输出信号 | 0~10 V DC / RS-232 |
| 烘烤温度 | 最高 250°C（BA 规） |
典型应用
- 半导体制造：真空规用于工艺腔体的真空度精确测量和过程控制
- 真空镀膜：镀膜全过程的真空度实时监测
- 科学研究：超高真空系统的精确压力测量
- 分析仪器：质谱仪和电子显微镜的真空度测量
- 工业真空：真空炉和镀膜机的真空过程控制
- 教学科研：实验室真空系统的通用测量设备
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
相关资料
- VACOM 产品目录大全 — 浏览全系列产品
- 关于元锤 — 了解公司团队
- 联系我们 — 获取报价与技术支援
- 真空组件选型指南 — 快速选型
- 真空设计参考资料 — 技术资料汇总