产品概述
VACOM Custom Chambers 定制真空腔体 是德国 VACOM 公司推出的高品质定制真空腔体产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。定制真空腔体作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的定制真空腔体选型、技术支持和采购服务。
VACOM Custom Chambers 定制真空腔体 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 按需设计：根据客户工艺要求和空间布局定制腔体结构和尺寸
- 多种材料：提供不锈钢 304L、316L、铝合金等多种腔体材料选项
- 灵活接口：可根据需求配置 KF、CF、ISO-K 等各种接口标准
- 精密制造：采用 CNC 精密加工和自动焊接工艺制造
- 全面检测：出厂前进行氦质谱检漏、压力和清洁度测试
- 可视窗口：可按需配装观察窗、馈通件和阀门等组件
可选型号
| 定制类型 | 材料 | 典型尺寸 | 接口配置 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| 球形腔体 | 304L/316L SS | Ø100-500 mm | KF/CF 多接口 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 圆柱腔体 | 304L/316L SS | Ø100-800 mm | KF/CF/ISO 多接口 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 矩形腔体 | 304L SS | 按图纸 | KF/CF 可定制 | ≤ 10⁻¹⁰ mbar |
| 多腔体系统 | 304L SS | 组合式 | 全部标准 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L / 铝合金 |
| 焊接标准 | 全熔透氩弧焊 / 激光焊 |
| 表面处理 | 电抛光 / 酸洗钝化 / Purity Class 3 |
| 接口类型 | KF / CF / ISO-K / ISO-F |
| 检漏方式 | 氦质谱检漏 + 保压测试 |
| 附件选项 | 视窗、馈通件、阀门、加热带 |
典型应用
- 半导体制造：定制腔体用于特殊工艺设备的开发和小批量生产
- 科学研究：实验室专用真空设备的定制腔体设计
- 真空镀膜：特殊镀膜工艺的定制镀膜腔体
- 分析仪器：专用分析设备的定制真空样品腔体
- 工业检测：真空检测设备的定制测试腔体
- 设备升级：现有真空设备的腔体改造和扩展
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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