产品概述
VACOM VACOM Feedthroughs 真空馈通件全系列 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空馈通件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空馈通件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空馈通件选型、技术支持和采购服务。
VACOM VACOM Feedthroughs 真空馈通件全系列 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 全系列馈通：涵盖电气、电源、热电偶、同轴、光纤等多类型馈通件
- 高密封性：陶瓷金属和玻璃金属烧结工艺，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 宽应用范围：从低电压信号到高电压大功率的全谱段电气馈入方案
- 多种法兰：兼容 KF、CF、ISO-K 等多种法兰接口标准
- 定制服务：可按客户要求定制引脚数量、电流电压等级和法兰规格
- 高温耐受：支持最高 450°C 烘烤，适用于超高真空系统
可选型号
| 馈通类型 | 传输信号 | 典型规格 | 法兰 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| 电气馈通 | 多芯信号/电源 | 1~50 针, 2~500 A | KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 电源馈通 | 大电流电力传输 | 50~500 A, 1~15 kV | CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 热电偶馈通 | 温度测量信号 | K/T/J/S 型 | KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 同轴馈通 | 高频射频信号 | SMA/BNC/N 型 | CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 光纤馈通 | 光信号 | 单模/多模 1~12 芯 | KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 额定电流 | 2 ~ 500 A（取决于类型） |
| 额定电压 | 100 V ~ 30 kV |
| 频率范围 | DC ~ 40 GHz（同轴型） |
| 绝缘电阻 | > 10¹³ Ω |
| 工作温度 | -269°C ~ +450°C |
| 法兰类型 | KF / CF / ISO-K |
典型应用
- 半导体制造：馈通件用于真空腔体信号和电源的导入与导出
- 真空镀膜：溅射靶材电源和基片加热电源的真空馈入
- 科学研究：超高真空电学实验的信号和电源接口
- 粒子加速器：加速器信号的同轴馈入和诊断信号输出
- 分析仪器：电子显微镜和质谱仪的电气接口
- 量子技术：量子计算实验系统的电气信号传输
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
相关资料
- VACOM 产品目录大全 — 浏览全系列产品
- 关于元锤 — 了解公司团队
- 联系我们 — 获取报价与技术支援
- 真空组件选型指南 — 快速选型
- 真空设计参考资料 — 技术资料汇总