产品概述
VACOM CF-Viewports 超高真空观察窗 是德国 VACOM 公司推出的高品质超高真空观察窗产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。超高真空观察窗作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的超高真空观察窗选型、技术支持和采购服务。
VACOM CF-Viewports 超高真空观察窗 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 超高真空适配：CF 金属密封结构适用于 UHV 和 XHV 真空环境
- 优质窗口材料：提供石英玻璃、蓝宝石、氟化钙等多种光学窗口材料
- 高透过率：可见光波段透过率 > 90%，特殊波段可根据需求选择材料
- 密封可靠：无氧铜金属密封垫圈，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 烘烤耐受：支持最高 450°C 烘烤除气，适用于超高真空系统
- 多种规格：提供 CF-DN16 至 CF-DN200 全系列视窗规格
可选型号
| 型号 | 窗口材料 | 法兰规格 | 可视直径 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| CF-VP-DN16-Q | 石英玻璃 | CF-DN16 | 10 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CF-VP-DN35-S | 蓝宝石 | CF-DN35 | 20 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CF-VP-DN40-B | 硼硅玻璃 | CF-DN40 | 28 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CF-VP-DN63-Q | 石英玻璃 | CF-DN63 | 45 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
| CF-VP-DN100-S | 蓝宝石 | CF-DN100 | 70 mm | ≤ 10⁻¹² mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：CF 视窗用于超高真空工艺腔体的内部观察和监控
- 科学研究：超高真空环境下的光学观测、激光入射和光谱采集
- 粒子加速器：同步辐射光束线上的超高真空观察窗口
- 分析仪器：电子显微镜和 XPS 设备的真空观察窗
- 量子技术：量子计算和量子传感实验系统的光学窗口
- 空间模拟：空间环境模拟舱的超高真空观察窗口
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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