产品概述
VACOM ISO-KF-Flanges 快装真空法兰 是德国 VACOM 公司推出的高品质快装真空法兰产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。快装真空法兰作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的快装真空法兰选型、技术支持和采购服务。
VACOM ISO-KF-Flanges 快装真空法兰 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 快装设计：KF 快装法兰系统，卡箍快速锁定，无需工具即可快速安装拆卸
- 标准兼容：符合 ISO 2861 国际 KF 快装法兰标准
- 优质材料：采用 304L 不锈钢制造，表面电抛光处理
- 多种规格：提供 DN10 至 DN50 全系列 KF 法兰规格
- 密封可靠：O 型圈径向密封结构，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 配套齐全：提供法兰、盲板、卡箍、对中环、密封圈等全部配件
可选型号
| 型号 | 通径 | 外径 | 密封圈内径 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| KF-DN10 | DN10 | 30 mm | 10 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| KF-DN16 | DN16 | 30 mm | 16 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| KF-DN25 | DN25 | 40 mm | 25 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| KF-DN40 | DN40 | 55 mm | 40 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| KF-DN50 | DN50 | 75 mm | 50 mm | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -20°C ~ +200°C (FKM) |
| 烘烤温度 | 最高 150°C（FKM）/ 200°C（金属密封） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L |
| 密封材料 | FKM / EPDM / 硅橡胶 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / 酸洗钝化 |
| 适用口径 | DN10 ~ DN50 |
典型应用
- 半导体制造：KF 法兰用于半导体设备的快装接口，提高维护效率
- 真空镀膜：镀膜设备各部件间的快速连接标准
- 科学研究：实验室真空系统组件连接的灵活快装方案
- 分析仪器：质谱仪和电子显微镜真空接口的标准连接
- 工业真空：真空炉和干燥设备的快速接口连接
- 教学实验：真空技术实验平台的标准化快速连接
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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