产品概述
VACOM Vacuum Fittings 真空管件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空管件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空管件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空管件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Vacuum Fittings 真空管件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 全系列管件：涵盖直通、弯头、三通、四通、变径等全系列真空管件
- 标准兼容：完全符合 ISO、DIN 真空标准规范
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢制造，表面电抛光
- 多种接口：提供 KF、CF、ISO-K、ISO-F 等多种法兰接口
- 多规格：提供 DN10 至 DN500 全系列通径规格
- 真空洁净：Purity Class 3 真空清洁标准出厂
可选型号
| 管件类型 | 通径范围 | 接口标准 | 材料 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| 直通 | DN10 ~ DN500 | KF/CF/ISO | 304L/316L | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 弯头 (90°/45°) | DN10 ~ DN250 | KF/CF/ISO | 304L/316L | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 三通 | DN10 ~ DN250 | KF/CF/ISO | 304L/316L | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 四通 | DN16 ~ DN250 | KF/CF/ISO | 304L/316L | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 变径 | DN10 ~ DN250 | KF/CF | 304L/316L | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 堵头/盲板 | DN10 ~ DN500 | KF/CF/ISO | 304L/316L | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：真空管件用于半导体设备的完整管路系统构建
- 真空镀膜：镀膜设备抽气管路和工艺管路的连接件
- 科学研究：真空实验装置管路的构建和改造
- 工业真空：大型工业真空系统的管道工程
- 分析仪器：分析仪器内部真空管路的连接组件
- 超高真空：UHV/XHV 系统的全金属密封管路组件
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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