产品概述
VACOM Vacuum Adapters 真空转接头 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空转接头产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空转接头作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空转接头选型、技术支持和采购服务。
VACOM Vacuum Adapters 真空转接头 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 标准化转接：实现不同法兰标准之间的直接转接，如 KF-CF、KF-ISO 等
- 异径转接：不同通径规格之间的转接，如 DN16-DN25
- 高密封性：精密加工密封面，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 优质材料：采用 304L/316L 不锈钢制造
- 多种组合：提供多种法兰标准和通径的组合转接选项
- 紧凑设计：一体化结构设计，占用空间小
可选型号
| 型号 | A 侧接口 | B 侧接口 | 通径 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| ADP-KF16-CF16 | KF-DN16 | CF-DN16 | DN16 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| ADP-KF25-CF35 | KF-DN25 | CF-DN35 | DN25 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| ADP-KF40-CF40 | KF-DN40 | CF-DN40 | DN40 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| ADP-KF25-ISO63 | KF-DN25 | ISO-K-DN63 | DN25 | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| ADP-CF16-KF16 | CF-DN16 | KF-DN16 | DN16 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：真空设备不同法兰标准之间的转接过渡
- 真空镀膜：不同接口标准设备之间的系统整合
- 科学研究：实验室真空系统的灵活连接
- 设备升级：旧系统法兰更换为新型标准的转接
- 分析仪器：不同标准接口仪器的真空管路连接
- 超高真空：KF 快装系统到 CF 超高真空系统的转接
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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