产品概述
VACOM Vacuum Flanges 真空法兰 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空法兰产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空法兰作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空法兰选型、技术支持和采购服务。
VACOM Vacuum Flanges 真空法兰 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 全系列法兰：提供 KF、CF、ISO-K、ISO-F 全系列真空法兰产品
- 标准兼容：完全符合 ISO、DIN、CF 等国际真空法兰标准
- 多种材料：提供 304L、316L 不锈钢和铝合金等多种材料选择
- 多种规格：提供 DN10 至 DN500 全系列通径规格
- 精密加工：CNC 精密加工密封面，确保密封性能
- 真空清洁：出厂经脱脂清洗和电抛光处理
可选型号
| 法兰类型 | 通径范围 | 密封方式 | 材料 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| KF 法兰 | DN10 ~ DN50 | O 型圈径向密封 | 304L SS | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| CF 法兰 | DN16 ~ DN250 | 无氧铜金属密封 | 304L/316L SS | ≤ 10⁻¹² mbar |
| ISO-K 法兰 | DN63 ~ DN500 | O 型圈径向密封 | 304L SS | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| ISO-F 法兰 | DN63 ~ DN500 | O 型圈轴向密封 | 304L SS | ≤ 10⁻⁹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹² mbar（取决于法兰类型） |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -269°C ~ +450°C（CF）/ -20°C ~ +200°C（KF/ISO） |
| 烘烤温度 | 最高 450°C（CF）/ 150°C（KF/ISO） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L / 铝合金 |
| 密封方式 | O 型圈 / 无氧铜金属垫圈 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 紧固方式 | 快装卡箍 / 螺栓组 / 卡钳 |
典型应用
- 半导体制造：法兰连接用于真空设备的各部件的标准接口
- 真空镀膜：镀膜设备腔体与泵组管路的法兰连接
- 科学研究：真空实验系统组件的标准法兰装配
- 粒子加速器：加速器真空管线的法兰连接和密封
- 分析仪器：电子显微镜和质谱仪的真空接口法兰
- 工业真空：大型真空系统的法兰连接工程
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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