产品概述
VACOM Standard Components 标准真空组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质标准真空组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。标准真空组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的标准真空组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Standard Components 标准真空组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 标准化产品：全系列标准化真空组件，涵盖连接件、管件、密封件等
- 系统配套：一站式采购平台，覆盖真空系统所需各类标准组件
- 品质保证：每件产品出厂前经过严格质量检测
- 多种材料：提供不锈钢、铝合金、铜等多种材料选项
- 库存充足：常用规格常备库存，支持快速交货
- 便捷采购：完整的型号编码体系，选型简便
可选型号
| 产品类别 | 主要产品 | 常用材料 | 通径/规格 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| 法兰连接件 | 法兰、盲板、卡箍 | 304L SS | DN10-DN500 | ≤ 10⁻¹² mbar |
| 密封件 | O 型圈、铜垫圈 | FKM/无氧铜 | DN10-DN500 | ≤ 10⁻¹² mbar |
| 管件 | 直通、弯头、三通 | 304L/316L SS | DN10-DN250 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 波纹管 | 成型/边焊波纹管 | 316L/AM350 | DN10-DN250 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 转接头 | 异径/异标准转接 | 304L SS | DN10-DN250 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：标准真空组件用于半导体设备的真空系统构建
- 真空镀膜：镀膜设备的标准真空组件配套
- 科学研究：真空实验系统的标准组件采购和搭建
- 工业真空：各类工业真空系统的标准组件供应
- 分析仪器：分析仪器的真空组件配套和维护
- 设备维护：真空系统的维修和备件更换
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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