美国 University Wafer 提供的 4H-SiC 碳化硅外延片是宽禁带半导体功率器件的核心衬底材料。4H-SiC 具有宽禁带(3.23 eV)、高击穿场强和高热导率等优异特性,适用于高温(>300°C)、高压(>10 kV)及高功率密度电力电子器件的制备。产品涵盖 4 英寸和 6 英寸规格,外延层厚度和掺杂浓度可按客户需求定制。
| 材料 | 4H-SiC 碳化硅外延片 |
| 直径 | 4 英寸(100 mm)/ 6 英寸(150 mm) |
| 晶体取向 | 4° off-axis (0001) 或 0° on-axis |
| 外延层厚度 | 5 – 100 μm(可定制) |
| 掺杂类型 | N 型(氮掺杂)/ P 型(铝掺杂) |
| 位错密度 | < 5000 cm⁻² |
| 表面粗糙度 | < 0.5 nm RMS |
| 品牌 | University Wafer(美国) |
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