美国 University Wafer Si-P100 单面抛光硅晶圆 4寸P型

University Wafer Si-P100 4英寸P型单面抛光硅晶圆,电阻率1~10Ω·cm,适用于一般微电子器件制备与MEMS工艺中的基础衬底。

直径 4″ (100mm)
掺杂 P型 (硼)
电阻率 1~10 Ω·cm
表面 单面抛光/RCA洁净

产品应用

  • 适用于MEMS传感器的基础工艺衬底
  • 可用于大学实验室微电子工艺的教学与研发
  • 配合光刻与刻蚀工艺实现基本器件制作

联系方式

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