美国 University Wafer 4H-SiC 外延片 高温高压功率器件

美国 University Wafer 提供的 4H-SiC 碳化硅外延片是宽禁带半导体功率器件的核心衬底材料。4H-SiC 具有宽禁带(3.23 eV)、高击穿场强和高热导率等优异特性,适用于高温(>300°C)、高压(>10 kV)及高功率密度电力电子器件的制备。产品涵盖 4 英寸和 6 英寸规格,外延层厚度和掺杂浓度可按客户需求定制。

材料 4H-SiC 碳化硅外延片
直径 4 英寸(100 mm)/ 6 英寸(150 mm)
晶体取向 4° off-axis (0001) 或 0° on-axis
外延层厚度 5 – 100 μm(可定制)
掺杂类型 N 型(氮掺杂)/ P 型(铝掺杂)
位错密度 < 5000 cm⁻²
表面粗糙度 < 0.5 nm RMS
品牌 University Wafer(美国)

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