产品概述
VACOM Angle-Valve 真空阀门 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空阀门产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空阀门作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空阀门选型、技术支持和采购服务。
VACOM Angle-Valve 真空阀门 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高可靠密封：摆动式阀板设计，金属或 FKM 密封，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 多种驱动：提供手动手轮、气动和电动驱动方式
- 通径齐全：提供 DN16 至 DN250 全系列通径规格
- 双向密封：支持正反双向密封，安装方向灵活适应系统布局
- 位置指示：标配阀门开/关位置指示器，方便状态确认
- 长寿命：经过 10 万次以上开关寿命测试
可选型号
| 型号 | 通径 | 驱动方式 | 密封类型 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| AV-DN16-M | DN16 | 手动 | FKM | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| AV-DN25-P | DN25 | 气动 | FKM | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| AV-DN40-M | DN40 | 手动 | 金属 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| AV-DN63-P | DN63 | 气动 | FKM | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| AV-DN100-E | DN100 | 电动 | 金属 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -20°C ~ +200°C（FKM）/-196°C ~ +450°C（金属） |
| 烘烤温度 | 最高 150°C（FKM）/ 300°C（金属） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 驱动方式 | 手动 / 气动 / 电动 |
| 开关寿命 | > 100,000 次 |
典型应用
- 半导体制造：角阀用于真空系统的管道隔离和工艺腔体隔离
- 真空镀膜：镀膜设备前级管道和主腔体的隔离阀门
- 科学研究：超高真空系统中不同区域的隔离与控制
- 分析仪器：质谱仪和电子显微镜的真空系统隔离
- 工业设备：真空炉和干燥设备的抽气管道控制阀
- 粒子加速器：加速器真空管线的区段隔离阀门
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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