产品概述
VACOM All-Metal-Valve 真空阀门 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空阀门产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空阀门作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空阀门选型、技术支持和采购服务。
VACOM All-Metal-Valve 真空阀门 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 全金属结构：阀体、阀板和密封面全金属设计，无弹性体密封件
- 超高真空：全金属密封适用于 UHV 和 XHV 真空环境
- 高温烘烤：支持最高 450°C 烘烤除气，满足超高真空系统要求
- 低放气率：全金属结构放气率极低，不污染真空环境
- 长寿命：金属密封面可多次更换，维护成本低
- 手动和气动：提供手动和气动两种驱动方式
可选型号
| 型号 | 通径 | 驱动 | 密封 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| AMV-DN16-M | DN16 | 手动 | 金属/金属 | ≤ 10⁻¹² mbar |
| AMV-DN35-M | DN35 | 手动 | 金属/金属 | ≤ 10⁻¹² mbar |
| AMV-DN40-P | DN40 | 气动 | 金属/金属 | ≤ 10⁻¹² mbar |
| AMV-DN63-P | DN63 | 气动 | 金属/金属 | ≤ 10⁻¹² mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹² mbar (XHV) |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -269°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 450°C |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封方式 | 金属阀板对金属阀座 |
| 驱动方式 | 手动 / 气动（弹簧复位） |
| 法兰接口 | CF 金属密封法兰 |
典型应用
- 科学研究：XHV 系统中全金属阀门的超高真空隔离需求
- 粒子加速器：加速器真空管线的全金属无油隔离阀门
- 超高真空系统：超高真空和极高真空系统的关键隔离阀
- 量子技术：量子计算实验系统的无放气隔离阀门
- 空间模拟：空间环境模拟设备的全金属真空阀门
- 表面分析：表面科学仪器中无碳氢污染的隔离阀门
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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