产品概述
VACOM VACOM Purity Classes 真空清洁等级服务 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空清洁等级服务产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空清洁等级服务作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空清洁等级服务选型、技术支持和采购服务。
VACOM VACOM Purity Classes 真空清洁等级服务 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 标准化体系：VACOM Purity Classes 提供从基础清洁到超高真空清洁的完整分级标准
- 多级选择：提供 Purity Class 1 至 4 四级清洁级别，适配不同真空需求
- 专业的表面处理：包括脱脂清洗、酸洗钝化、电抛光等专业表面处理工艺
- 严格检测：每件产品出具清洁等级检测报告，确保质量可追溯
- 真空包装：高等级产品采用真空包装，防止污染和氧化
- 综合服务：覆盖 VACOM 全系列真空组件产品的洁净处理和包装服务
可选型号
| 等级 | 清洁标准 | 表面处理 | 适用真空度 | 包装方式 |
|---|---|---|---|---|
| Class 1 | 基础清洁 | 脱脂清洗 | 粗真空 ~ 高真空 | 标准包装 |
| Class 2 | 工业清洁 | 酸洗钝化 | 高真空 | 密封包装 |
| Class 3 | 真空清洁 | 电抛光 | 超高真空 (UHV) | 真空密封 |
| Class 4 | 超高真空清洁 | 精密电抛光 | 极高真空 (XHV) | 真空密封充氮 |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 清洁等级 | Class 1 ~ Class 4 |
| 适用真空范围 | 粗真空 ~ 极高真空 (XHV) |
| 表面粗糙度 | Ra < 0.5 μm（Class 3）/ Ra < 0.25 μm（Class 4） |
| 表面处理 | 脱脂 / 钝化 / 电抛光 |
| 检测方法 | 目视检查 + 水膜测试 + 颗粒计数 |
| 包装方式 | 标准 / 密封 / 真空密封充氮 |
| 适用产品 | VACOM 全系列真空组件 |
典型应用
- 半导体制造：高清洁等级对芯片制造中的微粒控制至关重要
- 真空镀膜：清洁表面确保薄膜沉积质量，减少缺陷
- 科学研究：超高真空实验对表面清洁度的严格要求
- 粒子加速器：加速器真空管道的内壁清洁至关重要
- 分析仪器：仪器内部真空组件的清洁度影响分析精度
- 工业应用：高品质真空系统的组件清洁要求
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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