产品概述
VACOM NOVION Vacuum Gauge 真空规管 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空测量模块产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空测量模块作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空测量模块选型、技术支持和采购服务。
VACOM NOVION Vacuum Gauge 真空规管 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 宽量程测量：NOVION 真空规管覆盖 5×10⁻¹⁰ 至 1×10³ mbar 超宽量程
- 双模式切换：集成 Pirani 和 Bayard-Alpert 两种测量原理于一体
- 高精度：全量程高精度测量，重复性优于 ±3%
- 紧凑设计：一体化集成设计，无需额外控制器
- 多种通讯：标配模拟输出，可选 RS-232/485 和 Ethernet
- 即插即用：CF 或 KF 法兰接口，安装后即可投入使用
可选型号
| 型号 | 测量原理 | 量程 | 法兰 | 精度 |
|---|---|---|---|---|
| NOVION-BA | Bayard-Alpert | 5×10⁻¹⁰ ~ 1×10⁻² mbar | DN35 CF | ±10% |
| NOVION-PR | Pirani | 1×10⁻⁴ ~ 1×10³ mbar | DN16 KF | ±15% |
| NOVION-COMB | BA+Pirani | 5×10⁻¹⁰ ~ 1×10³ mbar | DN35 CF | ±10% |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量范围 | 5×10⁻¹⁰ ~ 1×10³ mbar（复合型） |
| 测量精度 | ±10%（BA）/ ±15%（Pirani） |
| 重复性 | ±3% |
| 响应时间 | < 100 ms |
| 灯丝材料 | 铱 / 钨 |
| 法兰接口 | DN35 CF / DN16 KF |
| 输出信号 | 0~10 V DC / RS-232 |
| 烘烤温度 | 最高 250°C（BA） |
典型应用
- 半导体制造：真空镀膜和刻蚀设备的宽量程真空度测量
- 科学研究：超高真空系统的精确压力监测
- 分析仪器：质谱仪和电子显微镜的真空度监测
- 粒子加速器：加速器真空系统的在线压力测量
- 工业真空：真空炉和镀膜机的真空过程控制
- 教学科研：实验室真空系统的通用测量设备
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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