产品概述
VACOM MERKURION Ion Getter Pumps 离子吸气泵 是德国 VACOM 公司推出的高品质离子吸气泵产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。离子吸气泵作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的离子吸气泵选型、技术支持和采购服务。
VACOM MERKURION Ion Getter Pumps 离子吸气泵 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高效泵送：MERKURION 系列采用优化的电极结构，泵送效率行业领先
- 无油清洁：无油无振动运行，适合超高真空和极高真空应用
- 长寿命：阴极板寿命长，可在 10⁻¹⁰ mbar 下连续运行 5 万小时
- 多种抽速：提供 20 L/s 至 1000 L/s 多种抽速规格
- XHV 选项：可选极高真空版本，极限真空可达 10⁻¹² mbar
- 多气体兼容：有效泵送 N₂、O₂、H₂、CO、CO₂ 等多种气体
可选型号
| 型号 | 抽速 (N₂) | 抽速 (H₂) | 法兰 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| IGP-20 | 20 L/s | 40 L/s | CF-DN35 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| IGP-60 | 60 L/s | 120 L/s | CF-DN63 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| IGP-120 | 120 L/s | 240 L/s | CF-DN100 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| IGP-270 | 270 L/s | 540 L/s | CF-DN150 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| IGP-500 | 500 L/s | 1000 L/s | CF-DN200 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| IGP-1000 | 1000 L/s | 2000 L/s | CF-DN250 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 抽速 (N₂) | 20 ~ 1000 L/s |
| 抽速 (H₂) | 2x N₂ 抽速 |
| 极限真空 | ≤ 1×10⁻¹¹ mbar（标准）/ ≤ 1×10⁻¹² mbar（XHV） |
| 启动压力 | ≤ 1×10⁻⁴ mbar |
| 工作电压 | 3~7 kV 自动调节 |
| 烘烤温度 | 最高 350°C |
| 法兰接口 | CF-DN35 ~ CF-DN250 |
| 电极材料 | 钛/钽/不锈钢 |
典型应用
- 半导体制造：MERKURION 离子泵用于超高真空镀膜和刻蚀工艺
- 科学研究：表面分析和分子束外延设备的无油超高真空获得
- 粒子加速器：加速器束流管线真空维持泵
- 分析仪器：电子显微镜和质谱仪的高真空维持系统
- 量子技术：量子计算和量子传感的超高真空获得
- 空间模拟：空间环境模拟舱的无油超高真空维持
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
相关资料
- VACOM 产品目录大全 — 浏览全系列产品
- 关于元锤 — 了解公司团队
- 联系我们 — 获取报价与技术支援
- 真空组件选型指南 — 快速选型
- 真空设计参考资料 — 技术资料汇总