产品概述
VACOM Power Feedthroughs 电源真空馈通件 是德国 VACOM 公司推出的高品质电源真空馈通件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。电源真空馈通件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的电源真空馈通件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Power Feedthroughs 电源真空馈通件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 大电流传输：支持最高 500 A 的大电流真空导入
- 高电压耐受：最高可耐受 15 kV 高电压
- 多种导体：提供铜、铜合金、可伐合金等多种导体材料
- 高密封性：陶瓷金属烧结封装，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 水冷选项：大电流型号可选集成水冷管路，提高载流能力
- 灵活配置：可按客户要求定制引脚数量、电流电压等级和法兰规格
可选型号
| 型号 | 额定电流 | 额定电压 | 引脚数 | 法兰规格 |
|---|---|---|---|---|
| PW-FT-50A | 50 A | 600 V | 1 | DN16 CF/KF |
| PW-FT-100A | 100 A | 1 kV | 1 | DN25 CF |
| PW-FT-200A | 200 A | 1 kV | 1 | DN40 CF（水冷） |
| PW-FT-500A | 500 A | 1 kV | 1 | DN63 CF（水冷） |
| PW-FT-10A-4P | 10 A/针 | 600 V | 4 | DN25 CF/KF |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 额定电流 | 10 ~ 500 A（取决于型号） |
| 额定电压 | 600 V ~ 15 kV |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 导体材料 | 铜 / 铜合金 / 可伐 |
| 绝缘材料 | 高纯 Al₂O₃ 陶瓷 |
| 表面处理 | 电抛光 / 镀镍 / 镀金 |
典型应用
- 半导体制造：电源馈通用于真空镀膜和刻蚀设备的大功率电源输入
- 真空镀膜：溅射靶材和蒸发源的电源馈入
- 科学研究：超高真空环境的大功率加热电源馈入
- 工业真空：真空炉的大功率加热电源馈入
- 分析仪器：大功率 X 射线源的电源馈入
- 等离子体加工：等离子体电源的真空腔体馈入
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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