产品概述
VACOM Thermocouple Feedthroughs 热电偶真空馈通件 是德国 VACOM 公司推出的高品质热电偶真空馈通件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。热电偶真空馈通件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的热电偶真空馈通件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Thermocouple Feedthroughs 热电偶真空馈通件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 精确测温：专门用于热电偶温度信号的真空传输，精度高稳定性好
- 多类型兼容：兼容 K、T、J、S、R 等多种标准热电偶类型
- 高密封性：玻璃金属烧结封装，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 补偿导线：内置热电偶专用补偿导线，消除热电势误差
- 双通道：提供单通道和双通道两种配置选项
- 多种法兰：兼容 KF 和 CF 法兰接口，适配不同真空系统
可选型号
| 型号 | 热电偶类型 | 通道数 | 法兰 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| TC-FT-K-1 | K 型 | 1 | DN16 KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| TC-FT-T-1 | T 型 | 1 | DN16 KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| TC-FT-K-2 | K 型 | 2 | DN16 KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| TC-FT-S-1 | S 型 | 1 | DN16 CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| TC-FT-J-2 | J 型 | 2 | DN25 KF/CF | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：热电偶馈通用于工艺温度监测和控制系统
- 真空镀膜：镀膜过程中基片温度的精确测量信号传输
- 科学研究：超高真空系统的多点温度监测
- 分析仪器：精密分析仪器的温度传感信号传输
- 工业真空：真空炉多点温度监测的信号馈入
- 低温系统：低温恒温器的温度测量信号传输
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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