产品概述
VACOM High Voltage Feedthroughs 高压真空馈通件 是德国 VACOM 公司推出的高品质高压真空馈通件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。高压真空馈通件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的高压真空馈通件选型、技术支持和采购服务。
VACOM High Voltage Feedthroughs 高压真空馈通件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高电压耐受：特殊绝缘结构设计，最高可耐受 30 kV 直流高压
- 优质绝缘：高纯氧化铝陶瓷绝缘体，体积电阻率 > 10¹⁴ Ω·cm
- 防闪络设计：优化的爬电距离和屏蔽结构，防止高压闪络
- 高密封性：陶瓷金属烧结封装，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 多种连接：提供高压接头、同轴连接、焊接端子等多种连接方式
- 定制选项：可按客户要求的电压等级和法兰规格定制
可选型号
| 型号 | 额定电压 | 额定电流 | 法兰规格 | 绝缘材料 |
|---|---|---|---|---|
| HV-FT-DN16-5K | 5 kV DC | 10 A | DN16 CF/KF | Al₂O₃ 陶瓷 |
| HV-FT-DN25-10K | 10 kV DC | 5 A | DN25 CF | Al₂O₃ 陶瓷 |
| HV-FT-DN35-20K | 20 kV DC | 5 A | DN35 CF | Al₂O₃ 陶瓷 |
| HV-FT-DN40-30K | 30 kV DC | 2 A | DN40 CF | Al₂O₃ 陶瓷 |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 额定电压 | 5 ~ 30 kV DC |
| 额定电流 | 2 ~ 10 A |
| 绝缘电阻 | > 10¹⁴ Ω |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 绝缘材料 | 高纯 Al₂O₃ 陶瓷 |
| 外壳材料 | 不锈钢 304L / 可伐合金 |
典型应用
- 半导体制造：高压馈通用于等离子体刻蚀和离子注入设备的电极供电
- 真空镀膜：溅射沉积系统靶材的高压电源馈入
- 科学研究：高压物理实验和等离子体诊断的超高真空接口
- 分析仪器：电子显微镜和质谱仪的高压电子枪馈入
- 粒子加速器：离子源和加速结构的高压馈入系统
- 电真空器件：行波管和速调管等电真空器件的电源接口
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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