产品概述
VACOM Multipin Feedthroughs 多芯真空馈通件 是德国 VACOM 公司推出的高品质多芯真空馈通件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。多芯真空馈通件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的多芯真空馈通件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Multipin Feedthroughs 多芯真空馈通件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 多通道集成：将多路电信号集成于单一馈通件，节省法兰接口空间
- 多种引脚配置：提供 4~50 芯多种引脚数配置，灵活适配信号传输需求
- 高密封性：先进玻璃金属封接工艺，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 信号屏蔽：可选各通道独立屏蔽设计，防止信号串扰
- 高密度：高密度引脚排列，单个馈通件传输更多信号通道
- 灵活定制：可按要求定制引脚布局、电流容量和法兰规格
可选型号
| 型号 | 引脚数 | 额定电流/针 | 额定电压 | 法兰规格 |
|---|---|---|---|---|
| MP-FT-DN25-4P | 4 | 5 A | 300 V | DN25 CF/KF |
| MP-FT-DN40-12P | 12 | 5 A | 300 V | DN40 CF |
| MP-FT-DN63-25P | 25 | 3 A | 150 V | DN63 CF |
| MP-FT-DN100-50P | 50 | 2 A | 100 V | DN100 CF |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 引脚数 | 4 ~ 50 |
| 额定电流 | 2 ~ 5 A/针（取决于型号） |
| 额定电压 | 100 ~ 300 V |
| 绝缘电阻 | > 10¹³ Ω（针间） |
| 工作温度 | -196°C ~ +250°C |
| 外壳材料 | 不锈钢 304L / 316L |
典型应用
- 半导体制造：多芯馈通用于真空腔体传感器信号的集中传输
- 真空镀膜：镀膜设备中多路加热器和传感器信号的接口
- 科学研究：超高真空系统中多通道电学测量信号的传输
- 分析仪器：质谱仪和表面分析仪器的多路信号接口
- 工业自动化：真空设备的集中电气接口解决方案
- 低温系统：低温真空环境多路传感器信号传输
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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