产品概述
VACOM Electrical Feedthroughs 电气真空馈通件 是德国 VACOM 公司推出的高品质电气真空馈通件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。电气真空馈通件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的电气真空馈通件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Electrical Feedthroughs 电气真空馈通件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 通用电气连接：适用于标准电气信号的真空传输，覆盖多种电流和电压等级
- 多引脚配置：提供 1~50 引脚配置，满足不同信号传输需求
- 密封可靠：玻璃金属烧结封装，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 高品质材料：不锈钢外壳与高纯氧化铝陶瓷绝缘体
- 宽温度范围：支持 -196°C 至 +450°C 宽温度工作区间
- 灵活适配：兼容 KF、CF、ISO-K 等多种法兰接口标准
可选型号
| 型号 | 引脚数 | 额定电流 | 额定电压 | 法兰规格 |
|---|---|---|---|---|
| EL-FT-DN16-2P | 2 | 10 A | 600 V | DN16 KF/CF |
| EL-FT-DN16-4P | 4 | 5 A | 300 V | DN16 KF/CF |
| EL-FT-DN25-8P | 8 | 10 A | 600 V | DN25 KF/CF |
| EL-FT-DN40-12P | 12 | 10 A | 600 V | DN40 CF |
| EL-FT-DN63-20P | 20 | 5 A | 300 V | DN63 CF |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：电气馈通用于真空镀膜和刻蚀设备的电源及信号传输
- 真空镀膜：镀膜腔体内加热器、传感器和电极的电气连接
- 科学研究：超高真空实验系统电信号的真空导入
- 分析仪器：电子显微镜和质谱仪的电信号传输接口
- 工业真空：真空炉的加热电源和热电偶信号传输
- 低温系统：低温真空系统中的传感器和加热器供电
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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