产品概述
VACOM Vacuum-Trap 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空过滤与捕集组件产品，专为半导体制造、真空镀膜、科学研究、粒子加速器和高能物理等尖端领域设计。该系列产品采用优质材料制造，经过严格的真空性能测试，可在超高真空（UHV）环境下长期稳定运行。
真空过滤与捕集组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性和可靠性。元锤作为德国 VACOM 在中国的官方授权代理，为客户提供全面的真空过滤与捕集组件选型、技术支持和采购服务。不论是标准型号的快速交付，还是定制化方案的设计开发，元锤均能为客户提供专业支持。
VACOM Vacuum-Trap 完全符合 DIN、ISO 和 Pneurop 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空（最高 1×10⁻¹¹ mbar）的全谱段应用。通过精密的加工工艺和严格的质量控制体系，该系列产品在密封性能、机械强度和长期可靠性方面均达到业界领先水平。
产品特点
- 卓越的真空密封性能：采用精密加工技术，确保真空过滤与捕集组件在超高真空环境下实现极低的泄漏率。所有产品出厂前均经过严格氦质谱检漏，泄漏率可低于 1×10⁻¹² mbar·L/s，满足最苛刻的真空应用要求。
- 优质材料保障：采用 304L/316L 不锈钢、无氧铜（OFHC）和高纯度陶瓷等优质材料制造，具有良好的耐腐蚀性和机械强度，适用于严苛的工业环境和科研应用场景。
- 广泛的系统兼容性：真空过滤与捕集组件全面兼容 ISO-KF、ISO-K、CF、QCF 等主流真空法兰标准，可与国内外主流真空设备无缝对接，方便系统集成和升级改造。
- 优异的热稳定性与烘烤性能：支持高温烘烤（最高可达 450°C），满足超高真空系统的烘烤除气要求。特殊设计的密封结构确保在温度循环下仍保持可靠的密封性能。
- 模块化标准化设计：采用标准化、模块化的设计理念，客户可根据实际应用需求灵活组合不同规格的真空过滤与捕集组件，简化系统设计和安装流程，显著降低维护成本。
- 全流程可追溯质量管理：每件真空过滤与捕集组件产品均带有独立序列号，可通过 VACOM 官方质量追溯系统查询完整的生产检测数据，确保产品质量的全程可控和可追溯。
可选型号与技术参数
| 型号 | 通径 | 法兰接口 | 长度 (mm) | 重量 (kg) | 法兰类型 |
|---|---|---|---|---|---|
| Vacuum-Trap-DN16-KF | DN16 | KF 16 | – | – | KF 快速连接 |
| Vacuum-Trap-DN25-KF | DN25 | KF 25 | – | – | KF 快速连接 |
| Vacuum-Trap-DN40-KF | DN40 | KF 40 | – | – | KF 快速连接 |
| Vacuum-Trap-DN16-CF | DN16 | CF 16 | – | – | CF 金属密封 |
| Vacuum-Trap-DN35-CF | DN35 | CF 35 | – | – | CF 金属密封 |
| Vacuum-Trap-DN63-CF | DN63 | CF 63 | – | – | CF 金属密封 |
通用技术参数
| 参数项 | 技术指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar（超高真空） |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s（氦质谱检漏） |
| 适用温度范围 | -196°C ~ +450°C（取决于密封材料） |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（标准），最高 450°C（选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM 氟橡胶 / 无氧铜垫片 / 金属密封 |
| 表面处理 | 标准电抛光 / VACOM Purity Class 3 特殊清洁 |
| 适用介质 | 惰性气体、活性气体、高纯工艺气体 |
典型应用场景
- 半导体制造设备：真空过滤与捕集组件广泛应用于 PVD、CVD、刻蚀设备等半导体前道工艺设备的真空系统中，为芯片制造提供稳定可靠的真空环境，确保工艺良率。
- 真空镀膜生产线：适用于光学镀膜、装饰镀膜和功能薄膜制备设备的真空过滤与捕集组件配置，确保镀膜工艺的真空质量和生产效率，降低停机维护时间。
- 科研真空系统：满足大学实验室、研究机构在表面物理、材料科学、量子技术等领域对真空过滤与捕集组件的高标准要求，支持前沿科学探索。
- 粒子加速器设施：用于同步辐射光源、自由电子激光等大型科学装置的真空系统构建，支持超高真空和极高真空应用需求，保证束流品质。
- 分析仪器配套：适用于电子显微镜、质谱仪、能谱仪等精密分析仪器的真空系统集成，保证分析结果的准确性和重复性。
- 工业真空设备：服务于真空炉、真空包装、真空干燥等工业设备的真空过滤与捕集组件配套需求，兼顾高性能和经济性，提升设备整体竞争力。
关于元锤
元锤（OneHammer Tech）是德国 VACOM 在中国地区的官方授权代理，专业从事进口真空组件的销售和技术服务。公司总部位于上海，拥有一支经验丰富的真空技术团队，能够为半导体、科研、工业等各类客户提供从产品选型、方案设计到售后服务的一站式解决方案。
元锤始终坚持以客户需求为导向，依托 VACOM 德国工厂的先进制造能力和严格质量控制体系，确保每一件交付产品的品质和性能。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站或联系我们的专业技术团队。
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