产品概述
VACOM Oil-Mist-Filter 真空过滤与捕集组件 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空过滤与捕集组件产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空过滤与捕集组件作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空过滤与捕集组件选型、技术支持和采购服务。
VACOM Oil-Mist-Filter 真空过滤与捕集组件 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高效过滤：采用多层不锈钢滤芯结构，油雾过滤效率达 99.99% 以上
- 低流阻设计：优化的气流通道设计，压降低于 5 mbar
- 优质材料：采用 304L 不锈钢滤芯及壳体，耐腐蚀且使用寿命长
- 多种规格：提供 DN16 至 DN50 多种规格，适配不同抽速真空泵
- 可清洁维护：滤芯可拆卸清洗或更换，降低运行成本
- 安全设计：配备安全泄压阀，防止系统过压
可选型号
| 型号 | 接口通径 | 过滤精度 | 适用泵速 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| OMF-DN16 | DN16 KF | 10 μm | ≤ 20 m³/h | ≤ 10⁻⁴ mbar |
| OMF-DN25 | DN25 KF | 10 μm | ≤ 60 m³/h | ≤ 10⁻⁴ mbar |
| OMF-DN40 | DN40 KF | 10 μm | ≤ 200 m³/h | ≤ 10⁻⁴ mbar |
| OMF-DN50 | DN50 ISO-K | 10 μm | ≤ 400 m³/h | ≤ 10⁻⁴ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻⁴ mbar |
| 过滤效率 | ≥ 99.99%（0.3 μm 油雾颗粒） |
| 温度范围 | 0°C ~ +120°C |
| 最大压差 | ≤ 10 mbar |
| 主体材料 | 不锈钢 304L |
| 滤芯材料 | 不锈钢烧结纤维 |
| 接口类型 | KF / ISO-K |
| 适用介质 | 含油雾气体、工艺排气 |
典型应用
- 半导体制造：真空泵排气端油雾过滤，保护环境和设备
- 真空镀膜：镀膜机真空泵排气净化，减少油雾排放
- 科学研究：实验室真空系统排气过滤，确保环境清洁
- 分析仪器：质谱仪等分析设备的真空泵尾气处理
- 工业真空：真空炉、真空干燥设备的油雾捕集与过滤
- 洁净室应用：洁净室环境中真空系统的排放净化
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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