产品概述
VACOM Optical Viewports 光学真空观察窗 是德国 VACOM 公司推出的高品质光学真空观察窗产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。光学真空观察窗作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的光学真空观察窗选型、技术支持和采购服务。
VACOM Optical Viewports 光学真空观察窗 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 高光学品质：采用精密研磨光学玻璃或晶体材料，表面平整度 λ/4
- 宽光谱范围：提供从紫外到远红外不同波段的高透过率窗口材料
- 超高真空：CF 金属密封结构，适用于 UHV 和 XHV 真空环境
- 多种材料：提供石英、蓝宝石、氟化钙、硒化锌等多种光学材料
- 镀膜选项：可选增透膜、反射膜、滤光膜等功能性光学镀膜
- 抗压设计：窗口可承受 1 个大气压压差，安全系数 > 5
可选型号
| 型号 | 材料 | 光谱范围 | 法兰 | 透过率 |
|---|---|---|---|---|
| OV-DN40-Q | 石英玻璃 | 250~2500 nm | CF-DN40 | > 90% |
| OV-DN35-SAP | 蓝宝石 | 200~5000 nm | CF-DN35 | > 85% |
| OV-DN40-CAF | 氟化钙 | 180~9000 nm | CF-DN40 | > 90% |
| OV-DN63-ZNSE | 硒化锌 | 600~16000 nm | CF-DN63 | > 70% |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 科学研究：超高真空环境中的精密光学实验窗口
- 半导体制造：光刻和检测设备的光学窗口
- 分析仪器：光谱仪和激光分析设备的真空窗口
- 薄膜测量：原位光学监测镀膜过程的观察窗口
- 激光加工：超快激光真空加工系统的光束导入窗口
- 空间模拟：空间光学设备的地面真空测试窗口
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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