产品概述
VACOM Vacuum Viewports 真空观察窗 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空观察窗产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空观察窗作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空观察窗选型、技术支持和采购服务。
VACOM Vacuum Viewports 真空观察窗 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 通用多规格：提供 KF、CF、ISO-K 多种法兰接口的真空观察窗系列
- 优质光学材料：硼硅玻璃、石英玻璃、蓝宝石等多种窗口材料
- 可靠密封：金属或 FKM 密封结构，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 高透过率：可见光波段透过率 > 90%，确保清晰观察
- 抗压设计：可承受 1 atm 压差载荷，安全可靠
- 丰富规格：DN10 至 DN200 全系列通径规格可选
可选型号
| 型号 | 接口类型 | 窗口材料 | 通径 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| VP-KF-DN16 | KF | 硼硅玻璃 | DN16 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| VP-CF-DN35 | CF | 石英玻璃 | DN35 | ≤ 10⁻¹² mbar |
| VP-KF-DN40 | KF | 硼硅玻璃 | DN40 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| VP-ISO-DN63 | ISO-K | 硼硅玻璃 | DN63 | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| VP-CF-DN100 | CF | 石英玻璃 | DN100 | ≤ 10⁻¹² mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -196°C ~ +450°C |
| 烘烤温度 | 最高 300°C（450°C 选配） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L / 316L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 表面处理 | 电抛光 / Purity Class 3 |
| 适用介质 | 惰性气体、高纯工艺气体 |
典型应用
- 半导体制造：真空腔体内部工艺过程的可视化监控
- 真空镀膜：沉积过程的实时观察和膜厚监测窗口
- 科学研究：实验腔体内部现象的目视观测和影像记录
- 等离子体加工：等离子体状态的视觉监控窗口
- 工业设备：真空炉和干燥设备内部状态观察
- 教学实验：真空技术实验设备的可视化教学窗口
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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