产品概述
VACOM Vacuum Valves 真空阀门 是德国 VACOM 公司推出的高品质真空阀门产品，专为半导体制造、真空镀膜与科学研究等尖端领域设计。该系列采用优质不锈钢材料制造，经严格的真空性能测试，可在超高真空环境下长期稳定运行。真空阀门作为真空系统中的关键组成部分，其性能直接关系到整体真空环境的稳定性与可靠性。元锤作为德国 VACOM 中国区官方代理，为客户提供全面的真空阀门选型、技术支持和采购服务。
VACOM Vacuum Valves 真空阀门 完全符合 DIN、ISO 等国际真空标准，适用于从粗真空到超高真空的全谱段应用。通过精密加工与严格质量管控，该系列在密封性能与机械强度方面达到业界领先水平，可满足包括半导体、科研、分析仪器在内的多种高端应用场景的严格要求。
产品特点
- 全系列阀门：涵盖角阀、闸阀、球阀、蝶阀等多种阀门类型
- 多种驱动：手动、气动、电动和电磁驱动可选
- 广泛口径：提供 DN10 至 DN500 的全系列通径规格
- 可靠密封：FKM 或金属密封，检漏低于 1×10⁻¹² mbar·L/s
- 高循环寿命：经过严格的开关寿命测试，确保长期可靠运行
- 多种法兰：兼容 KF、CF、ISO-K、ISO-F 等法兰接口标准
可选型号
| 阀门类型 | 通径范围 | 驱动方式 | 密封材料 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| 角阀 | DN10 ~ DN250 | 手动/气动/电动 | FKM / 金属 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 闸阀 | DN16 ~ DN500 | 手动/气动/电动 | FKM / 金属 | ≤ 10⁻¹¹ mbar |
| 球阀 | DN10 ~ DN50 | 手动/气动 | FKM | ≤ 10⁻⁹ mbar |
| 蝶阀 | DN40 ~ DN500 | 手动/气动/电动 | FKM | ≤ 10⁻⁹ mbar |
技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 适用真空度 | 大气压 ~ 1×10⁻¹¹ mbar |
| 泄漏率 | < 1×10⁻¹² mbar·L/s |
| 温度范围 | -20°C ~ +200°C（FKM）/ -196°C ~ +450°C（金属） |
| 烘烤温度 | 最高 150°C（FKM）/ 300°C（金属） |
| 主体材料 | 不锈钢 304L |
| 密封材料 | FKM / 无氧铜 / 金属密封 |
| 法兰接口 | KF / CF / ISO-K / ISO-F |
| 开关寿命 | > 50,000 次（FKM）/ > 10,000 次（金属） |
典型应用
- 半导体制造：真空阀门用于工艺腔体的气体隔离和流量控制
- 真空镀膜：镀膜设备抽气系统和工艺气体的管路控制
- 科学研究：超高真空系统不同区域的精密隔离
- 粒子加速器：束流管线真空区段的隔离和控制阀门
- 分析仪器：质谱仪和电子显微镜的真空管路控制
- 工业真空：真空炉和干燥设备的自动化阀门系统
关于元锤
元锤是德国 VACOM 中国区官方授权代理，专业从事进口真空组件销售与技术服务。总部位于上海，团队具备丰富真空经验，为客户提供从选型、方案设计到售后的一站式服务。如需了解更多关于 VACOM 真空组件系列产品的信息，欢迎访问元锤官方网站。
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