美国 Terasense Tera-Scan-100 太赫兹扫描系统是集成太赫兹时域光谱测量和三维太赫兹断层扫描成像功能的台式太赫兹综合测试系统，属于 Terasense 太赫兹光谱产品系列。该系统采用飞秒激光激发光电导天线产生 0.1-3THz 宽带太赫兹脉冲，动态范围 >60dB，光谱分辨率 <5GHz。配备电动二维平移台实现 C-scan 太赫兹反射和透射层析成像，Z 轴扫描通过时间延时实现三维太赫兹断层深度解析。该系统适用于制药片剂包衣层厚度无损太赫兹成像在线质量监测、涂层钢板防腐漆层太赫兹分层厚度测量和半导体晶圆掺杂层太赫兹扫描失效分析。
