美国 H2W Technologies 提供的多轴平台与空气轴承运动系统，将多个直线电机/音圈电机轴集成到多自由度运动系统中，可选配空气轴承实现无摩擦的超精密运动。这些系统可以配置为 XY、XY-Z、XY-θ 等不同构型，满足半导体制造、精密测量和光学对准等高端应用对多轴协同控制的需求。
如需了解 H2W Technologies 全部产品系列，欢迎访问 H2W Technologies 中国区代理官网 获取完整选型资料。
产品特点
- 多轴灵活配置：支持 XY、XY-Z、XY-θ 等多种自由度组合
- 空气轴承选项：可选配空气轴承导轨，实现零摩擦运动
- 纳米级定位精度：配合高分辨率光栅反馈可达纳米级分辨率
- 超高动态性能：直驱电机实现极高加速度和速度
- 优异正交精度：出厂精密组装校准，正交性好
- 全面定制服务：根据客户应用需求定制行程、负载和精度
技术规格与参数
标准型号参数表
| 型号 | 轴配置 | 行程 (mm) | 推力 (N) | 速度 (mm/s) | 分辨率 (μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| MA-XY-100 | XY | 100×100 | 20×20 | 1000 | 0.1 |
| MA-XY-200 | XY | 200×200 | 30×30 | 800 | 0.1 |
| MA-XYZ-100 | XY-Z | 100×100×50 | 20×20×10 | 800 | 0.1 |
| MA-AB-200 | XY（气浮） | 200×200 | 15×15 | 1500 | 0.05 |
通用技术参数
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 驱动方式 | 直线电机 / 音圈电机直驱 |
| 轴配置 | XY / XY-Z / XY-θ / 定制 |
| 导轨类型 | 交叉滚子导轨 / 空气轴承 |
| 反馈方式 | 增量式/绝对式光栅尺 |
| 正交精度 | < 5 arc-sec |
| 工作温度 | 0°C ~ 50°C |
| 防护等级 | IP40（气浮系统需洁净环境） |
| 供电电压 | 48~380V AC |
典型应用场景
- 半导体制造：晶圆检测与光刻对准的多轴精密定位
- 精密测量：三坐标测量仪、激光干涉测量平台
- 光学对准：多轴光学元件精密对准与耦合
- 超精密加工：金刚石车床、超精密磨床进给系统
- 显示面板：大尺寸玻璃基板检测与搬运
关于 元锤
元锤 作为 H2W Technologies 在中国区的专业合作伙伴，为客户提供全面的技术支持与进口采购服务。从产品选型咨询、技术参数确认、进口清关到售后技术支持，元锤 致力于帮助国内用户选择最适合的精密运动控制解决方案。访问 联系我们 页面获取更多信息。
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美国 H2W Technologies 提供的多轴平台与空气轴承运动系统，将多个直线电机/音圈电机轴集成到多自由度运动系统中，可选配空气轴承实现无摩擦的超精密运动。这些系统可以配置为 XY、XY-Z、XY-θ 等不同构型，满足半导体制造、精密测量和光学对准等高端应用对多轴协同控制的需求。
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产品特点
- 多轴灵活配置：支持 XY、XY-Z、XY-θ 等多种自由度组合
- 空气轴承选项：可选配空气轴承导轨，实现零摩擦运动
- 纳米级定位精度：配合高分辨率光栅反馈可达纳米级分辨率
- 超高动态性能：直驱电机实现极高加速度和速度
- 优异正交精度：出厂精密组装校准，正交性好
- 全面定制服务：根据客户应用需求定制行程、负载和精度
技术规格与参数
标准型号参数表
| 型号 | 轴配置 | 行程 (mm) | 推力 (N) | 速度 (mm/s) | 分辨率 (μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| MA-XY-100 | XY | 100×100 | 20×20 | 1000 | 0.1 |
| MA-XY-200 | XY | 200×200 | 30×30 | 800 | 0.1 |
| MA-XYZ-100 | XY-Z | 100×100×50 | 20×20×10 | 800 | 0.1 |
| MA-AB-200 | XY（气浮） | 200×200 | 15×15 | 1500 | 0.05 |
通用技术参数
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 驱动方式 | 直线电机 / 音圈电机直驱 |
| 轴配置 | XY / XY-Z / XY-θ / 定制 |
| 导轨类型 | 交叉滚子导轨 / 空气轴承 |
| 反馈方式 | 增量式/绝对式光栅尺 |
| 正交精度 | < 5 arc-sec |
| 工作温度 | 0°C ~ 50°C |
| 防护等级 | IP40（气浮系统需洁净环境） |
| 供电电压 | 48~380V AC |
典型应用场景
- 半导体制造：晶圆检测与光刻对准的多轴精密定位
- 精密测量：三坐标测量仪、激光干涉测量平台
- 光学对准：多轴光学元件精密对准与耦合
- 超精密加工：金刚石车床、超精密磨床进给系统
- 显示面板：大尺寸玻璃基板检测与搬运
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