产品概述
XYA-200-200 低剖面 XY 线性平台 是元锤合作品牌 Dover Motion 推出的 XYA 低剖面 XY 线性定位平台系列,采用超薄紧凑结构设计,在极低的垂直高度内实现了高精度双轴直线运动定位。该型号提供 200 mm (X) × 200 mm (Y) 的有效行程范围,定位精度可达 ±1.5 µm,重复定位精度 ±0.5 µm,其低剖面特性使其特别适合安装空间垂直高度受限的应用场景,如集成到有限空间的光学平台、检测设备和精密仪器中。
XYA 系列低剖面 XY 线性平台是在传统 XY 堆叠式结构的基础上进行了全面优化和扁平化设计。通过将 X 轴和 Y 轴的运动部件压缩在极低的垂直空间内,XYA 系列有效解决了空间受限应用中精密多轴定位的难题。平台采用驱动电机侧置或内置的巧妙布局,大幅降低了整体高度。元锤作为 Dover Motion 在中国区的授权合作伙伴,为客户提供全面的低剖面平台选型和技术支持服务。
产品特点
1. 超低剖面设计
采用创新的扁平化结构设计,整体高度远低于传统堆叠式 XY 平台。超低剖面使其可轻松安装在空间垂直高度极为有限的设备腔体内。
2. 微米级定位精度
尽管高度受限,平台仍实现了 ±1.5 µm 的定位精度和 ±0.5 µm 的重复定位精度。高分辨率光栅编码器提供了精确的位置反馈。
3. 高刚性紧凑结构
优化的力学结构和优质材料选用确保了低剖面条件下的结构刚性,有效抑制了运动过程中的变形和振动。
4. 灵活的空间适配
低剖面设计特别适合集成到光学检测设备、半导体设备和科研仪器中,最大限度地利用了有限的垂直空间。
5. 高精度导向系统
配备精密交叉滚柱轴承或微型线性导轨,在低剖面外形内提供了良好的运动平稳性和负载能力。
6. 标准化接口
提供标准化的机械和电气接口,方便快速集成到现有系统中。可定制安装孔位和连接器类型。
型号与技术参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 有效行程 (X × Y) | 200 mm × 200 mm |
| 定位精度 | ±1.5 µm |
| 重复定位精度 | ±0.5 µm |
| 编码器分辨率 | 0.05 µm |
| 最大速度 | 200 mm/s |
| 最大负载 | 15 kg |
| 平台高度 | < 40 mm(典型) |
| 导向方式 | 交叉滚柱轴承 |
| 驱动方式 | 直线电机 / 精密丝杠 |
| 反馈方式 | 光栅编码器 |
| 限位方式 | 光电限位 + 软件限位 |
通用技术参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 驱动方式 | 无铁芯直线电机直驱,无背隙 |
| 反馈方式 | 非接触式光栅编码器,模拟/数字输出可选 |
| 轴承类型 | 高精度交叉滚柱轴承 |
| 导轨类型 | 精密级线性导轨 |
| 限位方式 | 光电限位开关 + 软件限位 |
| 线缆管理 | 高柔性拖链线缆,可定制长度 |
| 环境要求 | 洁净室兼容(ISO Class 1),无尘无油 |
| 可选升级 | 真空版本、恒温冷却板、多轴集成 |
典型应用
生命科学成像
支持高分辨率显微成像、共聚焦显微镜和多光子显微镜的样本自动扫描,保证长时间成像的稳定性与重复性。
半导体晶圆检测
适用于晶圆图案比对、缺陷检测和 MEMS 器件测试,提供纳米级定位精度和高通量运动能力。
精密计量与测量
用于光学测量、坐标测量机(CMM)和干涉仪中的样本精密定位与扫描运动。
激光加工与微纳制造
应用于激光直写、飞秒激光微加工和光刻机中的精密工件台定位与轨迹控制。
自动化光学检测(AOI)
支持 PCB、显示屏和精密零件的高通量自动光学检测,满足高速步进与稳定成像的需求。
OEM 仪器集成
紧凑的结构设计使其易于集成到医疗设备、科研仪器和工业自动化设备中,提供完整的运动控制解决方案。
关于元锤
元锤(One Hammer Tech)是 Dover Motion 在中国地区的授权合作伙伴,专注于精密运动控制领域的技术推广、产品销售、系统集成与技术支持。依托多年的行业经验和技术积累,我们为生命科学、半导体、精密制造、科研仪器等领域的客户提供从单轴定位平台到多轴复杂运动系统的完整解决方案。
我们不仅提供标准产品的选型咨询和采购服务,还可根据客户的特殊需求进行定制化开发与集成。如需了解更多产品信息或获取详细技术资料,请访问我们的产品目录或直接联系我们获取一对一技术支持。
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