产品概述
MMG 直线精密定位平台 是元锤合作品牌 Dover Motion 推出的 MMG 直线精密定位平台系列，采用高性能直线电机直驱和高刚性精密导轨导向技术，在紧凑的外形尺寸内实现了卓越的运动精度和动态性能。该型号提供 100 mm 的有效直线运动行程，定位精度可达 ±1.0 µm，重复定位精度 ±0.3 µm，是半导体检测、生命科学显微成像和精密自动化设备的理想直线运动组件。
MMG 系列定位平台继承了 Dover Motion 在精密运动控制领域数十年的技术积累，在保证高精度和高速度的同时，特别注重平台的长期稳定性和可靠性。直驱电机设计消除了传动背隙和磨损问题，显著延长了设备的使用寿命。元锤作为 Dover Motion 在中国区的授权合作伙伴，为客户提供全面的产品选型和技术支持服务。
产品特点
1. 直驱电机驱动
采用无铁芯直线电机直接驱动，零背隙传动，运动极为平滑。无齿槽效应确保了低速运动的稳定性和高速定位的精确性，适合各种精密运动控制应用。
2. 高精度闭环控制
配备高分辨率非接触式光栅编码器，实现 ±1.0 µm 的定位精度和 ±0.3 µm 的重复定位精度。闭环伺服控制确保了位置控制的准确性和可靠性。
3. 高刚性精密导轨
采用高刚性精密线性导轨作为导向元件，具有优异的承载能力和抗侧向力性能。最大负载能力 8 kg，满足各类自动化设备的工作负载要求。
4. 优化的动态性能
最高速度可达 250 mm/s，优化的结构设计实现了高加速度和快速定位能力。轻量化运动部件降低了运动惯性，提高了系统的响应速度。
5. 可靠的安全保护
标配光电限位开关和软件限位保护，确保运动安全。高柔性线缆管理系统延长了运动线缆的使用寿命。
6. 灵活集成
标准化机械接口和电气接口设计，支持快速集成到自动化系统和仪器设备中。可定制行程长度和负载等级。
型号与技术参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 有效行程 | 100 mm |
| 定位精度 | ±1.0 µm |
| 重复定位精度 | ±0.3 µm |
| 编码器分辨率 | 0.05 µm |
| 最大速度 | 250 mm/s |
| 最大负载 | 8 kg |
| 导向方式 | 精密线性导轨 |
| 驱动方式 | 无铁芯直线电机 |
| 反馈方式 | 光栅编码器 |
| 限位方式 | 光电限位 + 软件限位 |
通用技术参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 驱动方式 | 无铁芯直线电机直驱，无背隙 |
| 反馈方式 | 非接触式光栅编码器，模拟/数字输出可选 |
| 轴承类型 | 高精度交叉滚柱轴承 |
| 导轨类型 | 精密级线性导轨 |
| 限位方式 | 光电限位开关 + 软件限位 |
| 线缆管理 | 高柔性拖链线缆，可定制长度 |
| 环境要求 | 洁净室兼容（ISO Class 1），无尘无油 |
| 可选升级 | 真空版本、恒温冷却板、多轴集成 |
典型应用
生命科学成像
支持高分辨率显微成像、共聚焦显微镜和多光子显微镜的样本自动扫描，保证长时间成像的稳定性与重复性。
半导体晶圆检测
适用于晶圆图案比对、缺陷检测和 MEMS 器件测试，提供纳米级定位精度和高通量运动能力。
精密计量与测量
用于光学测量、坐标测量机（CMM）和干涉仪中的样本精密定位与扫描运动。
激光加工与微纳制造
应用于激光直写、飞秒激光微加工和光刻机中的精密工件台定位与轨迹控制。
自动化光学检测（AOI）
支持 PCB、显示屏和精密零件的高通量自动光学检测，满足高速步进与稳定成像的需求。
OEM 仪器集成
紧凑的结构设计使其易于集成到医疗设备、科研仪器和工业自动化设备中，提供完整的运动控制解决方案。
关于元锤
元锤（One Hammer Tech）是 Dover Motion 在中国地区的授权合作伙伴，专注于精密运动控制领域的技术推广、产品销售、系统集成与技术支持。依托多年的行业经验和技术积累，我们为生命科学、半导体、精密制造、科研仪器等领域的客户提供从单轴定位平台到多轴复杂运动系统的完整解决方案。
我们不仅提供标准产品的选型咨询和采购服务，还可根据客户的特殊需求进行定制化开发与集成。如需了解更多产品信息或获取详细技术资料，请访问我们的产品目录或直接联系我们获取一对一技术支持。
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