产品概述
XYMR 显微镜开放式 XY 平台 是元锤合作品牌 Dover Motion 推出的高性能 XY 双轴精密定位平台系列，采用直线电机直驱技术和交叉滚柱轴承导向，专为需要高精度、高速度和高稳定性的工业与科研应用场景而设计。该型号提供 100 mm (X) × 75 mm (Y) 的有效行程，定位精度可达 ±1.0 µm，重复定位精度 ±0.3 µm，能够满足从生命科学成像到半导体检测等各类苛刻应用的要求。
该平台采用紧凑的机械结构和直接的驱动力传输方案，消除了传统丝杠传动中存在的背隙、摩擦和磨损问题，实现了优异的动态响应能力和长期稳定性。整体平面度控制在 ±1.5 µm 以内，正交度优于 5 arcsec，确保了多轴联动时的轨迹精准度。平台主体采用 航空级铝合金，兼顾了结构刚性与轻量化需求。元锤作为 Dover Motion 在中国区的授权合作伙伴，为客户提供从选型咨询、系统集成到售后支持的全方位服务。
产品特点
1. 直驱电机技术，零背隙传动
该平台采用 无铁芯直线电机 直接驱动，电机与运动平台之间无任何机械传动部件，彻底消除了传统滚珠丝杠和皮带传动中普遍存在的背隙、摩擦和弹性变形问题。这种直驱架构使得平台具有极高的响应速度和控制精度，特别适合需要频繁启停、高加速度和微米级定位的应用场景。
2. 纳米级定位精度与重复性
得益于精密的机械加工工艺和非接触式光栅编码器的闭环反馈控制，该平台实现了 ±1.0 µm 的定位精度和 ±0.3 µm 的重复定位精度，使微纳米级别的精密操作成为可能。编码器分辨率最高可达 0.05 µm，为精密自动化提供了坚实的位置检测基础。
3. 高刚性交叉滚柱轴承导向
平台采用高刚性交叉滚柱轴承作为导向元件，具有优异的承载能力和抗倾覆力矩性能。与传统的滚珠导轨相比，交叉滚柱轴承的可接触面积更大、刚性更高，能够有效抑制运动过程中的振动和漂移，确保运动轨迹的平滑性和一致性。
4. 紧凑模块化设计，易于集成
该型号采用高度紧凑的一体化结构设计，外形尺寸为 220 mm × 200 mm × 60 mm，重量仅 7.0 kg，在不牺牲性能的前提下实现了小型化和轻量化。平台提供标准化的机械接口和电气接口，可通过简单的螺钉固定和线缆连接即可快速集成到各种自动化系统和仪器中。
5. 高速高响应，提升生产效率
平台最高运动速度可达 250 mm/s，配合轻量化的运动部件和高带宽的伺服驱动器，能够在极短的时间内完成加速、匀速和减速过程。最大负载能力达到 10 kg，兼顾了高速运动和大负载的应用需求，大幅缩短了生产节拍时间。
6. 可靠的限位与保护机制
平台标配光电限位开关和软件限位双重保护机制，有效防止运动超程。同时配备高柔性拖链线缆管理系统，确保线缆在长期往复运动中不会出现疲劳断裂。平台整体满足洁净室 ISO Class 1 无尘环境要求，可选真空版本和恒温冷却板等升级选项。
型号与技术参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 有效行程 (X × Y) | 100 mm (X) × 75 mm (Y) |
| 定位精度 | ±1.0 µm |
| 重复定位精度 | ±0.3 µm |
| 直线度 / 平面度 | ±1.0 µm / ±1.5 µm |
| 正交度 | 5 arcsec |
| 编码器分辨率 | 0.05 µm |
| 最大速度 | 250 mm/s |
| 最大负载 | 10 kg |
| 平台重量 | 7.0 kg |
| 外形尺寸 (L×W×H) | 220 mm × 200 mm × 60 mm |
| 主体材质 | 航空级铝合金 |
| 电机类型 | 无铁芯直线电机 |
| 反馈方式 | 非接触式光栅编码器 |
通用技术参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 驱动方式 | 无铁芯直线电机直驱，无背隙 |
| 反馈方式 | 非接触式光栅编码器，模拟/数字输出可选 |
| 轴承类型 | 高精度交叉滚柱轴承 |
| 导轨类型 | 精密级线性导轨 |
| 限位方式 | 光电限位开关 + 软件限位 |
| 线缆管理 | 高柔性拖链线缆，可定制长度 |
| 环境要求 | 洁净室兼容（ISO Class 1），无尘无油 |
| 可选升级 | 真空版本、恒温冷却板、多轴集成 |
典型应用
生命科学成像
支持高分辨率显微成像、共聚焦显微镜和多光子显微镜的样本自动扫描，保证长时间成像的稳定性与重复性。
半导体晶圆检测
适用于晶圆图案比对、缺陷检测和 MEMS 器件测试，提供纳米级定位精度和高通量运动能力。
精密计量与测量
用于光学测量、坐标测量机（CMM）和干涉仪中的样本精密定位与扫描运动。
激光加工与微纳制造
应用于激光直写、飞秒激光微加工和光刻机中的精密工件台定位与轨迹控制。
自动化光学检测（AOI）
支持 PCB、显示屏和精密零件的高通量自动光学检测，满足高速步进与稳定成像的需求。
OEM 仪器集成
紧凑的结构设计使其易于集成到医疗设备、科研仪器和工业自动化设备中，提供完整的运动控制解决方案。
关于元锤
元锤（One Hammer Tech）是 Dover Motion 在中国地区的授权合作伙伴，专注于精密运动控制领域的技术推广、产品销售、系统集成与技术支持。依托多年的行业经验和技术积累，我们为生命科学、半导体、精密制造、科研仪器等领域的客户提供从单轴定位平台到多轴复杂运动系统的完整解决方案。
我们不仅提供标准产品的选型咨询和采购服务，还可根据客户的特殊需求进行定制化开发与集成。如需了解更多产品信息或获取详细技术资料，请访问我们的产品目录或直接联系我们获取一对一技术支持。
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